固定电极是电容式加速度计中精密加工的固定导电板或表面,构成差分电容的一部分。
固定电极是电容式加速度计中精密加工的固定导电板或表面,构成差分电容的一部分。它们相对于加速度计外壳保持固定位置,同时与可移动的检测质量或地震质量相互作用。当发生加速度时,可移动质量发生偏转,改变其与固定电极之间的距离,从而改变电容。该电容变化被测量并转换为与加速度成正比的电信号。固定电极对于维持MEMS(微机电系统)和电容式加速度计在各种精密测量应用中的测量稳定性、线性度和灵敏度至关重要。 固定电极基于可变电容传感原理工作。它们构成平行板电容器系统的一个极板,可移动的检测质量作为另一个极板。在加速度作用下,检测质量相对于固定电极移动,改变它们之间的间隙距离。这根据C = εA/d改变电容,其中ε是介电常数,A是重叠面积,d是间隙距离。电容变化由集成电路(通常使用交流激励或电荷放大)检测,转换为电压信号,并处理以确定加速度的大小和方向。具有多个固定电极的差分配置可消除共模噪声并提高灵敏度。
固定电极 的常用贸易名称、技术标识和检索关键词。
该组件会出现在以下整机或工业产品中。
诱因 → 失效模式 → 工程缓解
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这些分值是采购评估维度示例,不代表真实客户评分、具体国家买家反馈或实时询盘。
固定电极相对于加速度计外壳保持静止,而可动电极(检测质量块)在加速度作用下偏转。它们之间距离的变化产生可测量的电容变化。
多个固定电极可实现差分电容测量,从而提高灵敏度,减少温度漂移,消除共模噪声,并允许测量多个轴的加速度。
间隙距离、表面平面度和对准的公差直接影响电容基线、灵敏度、线性度和交叉轴灵敏度。高精度应用需要严格的公差(通常<0.1 μm)。
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