行业组件数据 · 2026

固定电极

固定电极是电容式加速度计中精密加工的固定导电板或表面,构成差分电容的一部分。

技术定义与适配语境
典型 固定电极 会按材料、尺寸公差、适配关系和失效风险在 计算机、电子和光学产品制造 中评估。

固定电极是电容式加速度计中精密加工的固定导电板或表面,构成差分电容的一部分。它们相对于加速度计外壳保持固定位置,同时与可移动的检测质量或地震质量相互作用。当发生加速度时,可移动质量发生偏转,改变其与固定电极之间的距离,从而改变电容。该电容变化被测量并转换为与加速度成正比的电信号。固定电极对于维持MEMS(微机电系统)和电容式加速度计在各种精密测量应用中的测量稳定性、线性度和灵敏度至关重要。 固定电极基于可变电容传感原理工作。它们构成平行板电容器系统的一个极板,可移动的检测质量作为另一个极板。在加速度作用下,检测质量相对于固定电极移动,改变它们之间的间隙距离。这根据C = εA/d改变电容,其中ε是介电常数,A是重叠面积,d是间隙距离。电容变化由集成电路(通常使用交流激励或电荷放大)检测,转换为电压信号,并处理以确定加速度的大小和方向。具有多个固定电极的差分配置可消除共模噪声并提高灵敏度。

组件规格

定义
固定电极是电容式加速度计中精密加工的固定导电板或表面,构成差分电容的一部分。它们相对于加速度计外壳保持固定位置,同时与可移动的检测质量或地震质量相互作用。当发生加速度时,可移动质量发生偏转,改变其与固定电极之间的距离,从而改变电容。该电容变化被测量并转换为与加速度成正比的电信号。固定电极对于维持MEMS(微机电系统)和电容式加速度计在各种精密测量应用中的测量稳定性、线性度和灵敏度至关重要。

固定电极基于可变电容传感原理工作。它们构成平行板电容器系统的一个极板,可移动的检测质量作为另一个极板。在加速度作用下,检测质量相对于固定电极移动,改变它们之间的间隙距离。这根据C = εA/d改变电容,其中ε是介电常数,A是重叠面积,d是间隙距离。电容变化由集成电路(通常使用交流激励或电荷放大)检测,转换为电压信号,并处理以确定加速度的大小和方向。具有多个固定电极的差分配置可消除共模噪声并提高灵敏度。
工作原理
固定电极基于可变电容传感原理工作。它们构成平行板电容器系统的一个极板,可移动的检测质量块作为另一个极板。在加速度作用下,检测质量块相对于固定电极移动,改变它们之间的间隙距离。根据C = εA/d改变电容,其中ε是介电常数,A是重叠面积,d是间隙距离。电容变化由集成电路(通常使用交流激励或电荷放大)检测,转换为电压信号,并处理以确定加速度的大小和方向。具有多个固定电极的差分配置可消除共模噪声并提高灵敏度。
材料
通常由掺杂硅(用于MEMS器件)、镀金铍铜、镍合金或铂族金属制成。硅电极通常掺杂磷或硼以增强导电性。基底可包括玻璃(Pyrex)或带有二氧化硅绝缘层的硅。涂层可包括用于耐腐蚀的金或防粘附层如自组装单分子层(SAMs)。
电阻
<1 ΩΩ
间隙距离
1-10 μm (MEMS), 10-100 μm (macro)μm
电极面积
0.01-1 mm²mm²
电容范围
10 fF to 10 pFfF/pF
平面度公差
<0.1 μmμm
频率响应
DC to 5 kHzkHz
介电强度
>100 V/μmV/μm
工作温度
-40°C to +125°C°C
标准
ISO 16063-21IEC 60747-14-1DIN 43751

行业分类与别名

固定电极 的常用贸易名称、技术标识和检索关键词。

上级产品

该组件会出现在以下整机或工业产品中。

FMEA · 风险与缓解

诱因 → 失效模式 → 工程缓解

电极之间的颗粒污染->短路或电容漂移->洁净室组装、密封封装、颗粒吸附剂
处理过程中的静电放电(ESD)->介电击穿或电极损坏->ESD保护封装、片上保护二极管、正确接地
热循环应力->电极分层或接触失效->CTE匹配材料、应力释放设计、热测试

工业生态与工程逻辑

适配说明
该固定电极与MEMS电容式加速度计、伺服加速度计和惯性测量单元兼容。订购前请确认间隙距离、电容范围和封装尺寸与您的设计匹配。
工程风险
  • 电极粘附(与检测质量块粘连)
  • 高电压下介电击穿
  • 腐蚀或污染影响电容
  • 振动引起的机械疲劳
  • 热膨胀失配导致漂移

合规与检测

公差
间隙距离公差通常±0.05 μm,电极对准±0.1°,差分对电容匹配±1%
检测方法
使用LCR表测量电容,激光干涉仪验证间隙,SEM检查尺寸精度,按MIL-STD-883进行温度循环

制造该组件的工厂

来自 CNFX 组件能力表的相关制造商资料。

结合厂家产品范围与来源资料比较需求,联系时说明规格、数量和交期。

采购评估维度

不是客户评论,也不是实时热度。以下维度用于前期 RFQ 准备和供应商评估。

技术文档
4/5
制造能力
4/5
可检验性
5/5
供应商透明度
3/5

这些分值是采购评估维度示例,不代表真实客户评分、具体国家买家反馈或实时询盘。

相关组件

常见问题

加速度计中固定电极和可动电极有什么区别?

固定电极相对于加速度计外壳保持静止,而可动电极(检测质量块)在加速度作用下偏转。它们之间距离的变化产生可测量的电容变化。

为什么某些加速度计设计中采用多个固定电极?

多个固定电极可实现差分电容测量,从而提高灵敏度,减少温度漂移,消除共模噪声,并允许测量多个轴的加速度。

制造公差如何影响固定电极的性能?

间隙距离、表面平面度和对准的公差直接影响电容基线、灵敏度、线性度和交叉轴灵敏度。高精度应用需要严格的公差(通常<0.1 μm)。

我可以直接联系工厂吗?

CNFX 是开放目录,不是交易平台或采购代理。工厂资料和表单用于帮助你准备直接沟通。

CNFX Industrial Component Index · 计算机、电子和光学产品制造

数据基础

CNFX 制造商资料、技术分类、公开产品信息和持续合理性检查。

初步技术归类
本页用于结构化准备研究、RFQ 和供应商评估,不替代买方自己的供应商资质审查、标准核验和技术批准。

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说明目标数量、应用场景、交期和关键技术要求,用于准备 RFQ 或供应商评估。

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固态电解质层
URN:CNFX:ME:UNIT:FIXED_ELECTRODES
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