行业组件数据 · 2026

聚焦电极(韦内尔特圆筒)

繁體:聚焦電極(韋內爾特圓筒)

聚焦电极,通常称为韦内尔特圆筒,是电子枪组件中的关键部件,用于电子显微镜、阴极射线管和电子束光刻系统。

技术定义与适配语境
典型 聚焦电极(韦内尔特圆筒) 会按材料、尺寸公差、适配关系和失效风险在 计算机、电子和光学产品制造 中评估。

聚焦电极,通常称为韦内尔特圆筒,是电子枪组件中的关键部件,用于电子显微镜、阴极射线管和电子束光刻系统。该圆柱形电极环绕阴极,并相对于阴极施加负偏压,从而产生静电场,该电场对发射的电子束进行整形和聚焦,同时调节束流。其精确的几何形状和电压控制决定了束流的会聚角、束斑尺寸和稳定性,直接影响成像分辨率和系统性能。 韦内尔特圆筒基于静电透镜原理工作。通过相对于阴极施加负电压,它产生一个等势面,该等势面排斥电子,形成会聚静电场。该电场将来自阴极的发散电子聚焦到一个交叉点,通过空间电荷效应控制束流会聚和发射电流。电极的圆柱形形状和精确定位优化了场对称性,以实现均匀聚焦。

组件规格

定义
聚焦电极,通常称为韦内尔特圆筒,是电子枪组件中的关键部件,用于电子显微镜、阴极射线管和电子束光刻系统。该圆柱形电极环绕阴极,并相对于阴极施加负偏压,从而产生静电场,该电场对发射的电子束进行整形和聚焦,同时调节束流。其精确的几何形状和电压控制决定了束流的会聚角、束斑尺寸和稳定性,直接影响成像分辨率和系统性能。

韦内尔特圆筒基于静电透镜原理工作。通过相对于阴极施加负电压,它产生一个等势面,该等势面排斥电子,形成会聚静电场。该电场将来自阴极的发散电子聚焦到一个交叉点,通过空间电荷效应控制束流会聚和发射电流。电极的圆柱形形状和精确定位优化了场对称性,以实现均匀聚焦。
工作原理
The Wehnelt Cylinder operates on electrostatic lens principles. By applying a negative voltage relative to the cathode, it creates an equipotential surface that repels electrons, forming a converging electrostatic field. This field focuses diverging electrons from the cathode into a crossover point, controlling both beam convergence and emission current through space-charge effects. The electrode's cylindrical shape and precise positioning optimize field symmetry for uniform focusing.
材料
高纯度钼、钨或镍合金具有低放气率、高熔点(>2000°C)和优异的热稳定性。表面粗糙度:<0.5 μm。涂层:可选石墨或六硼化镧涂层以增强发射稳定性。
Length
10-100 mm
Diameter
5-50 mm
Voltage Range
-50 to -500 V relative to cathode
Alignment Tolerance
±0.01 mm
Vacuum Compatibility
<10^-6 Torr
Operating Temperature
Up to 1500°C
标准
ISO 16700DIN 50300

行业分类与别名

聚焦电极(韦内尔特圆筒) 的常用贸易名称、技术标识和检索关键词。

上级产品

该组件会出现在以下整机或工业产品中。

FMEA · 风险与缓解

诱因 → 失效模式 → 工程缓解

Material creep at high temperature->Cylinder deformation changes electrostatic field->Use refractory alloys with creep resistance; implement active cooling
Voltage supply ripple->Beam position instability and focus fluctuation->Install filtered DC power supplies with <0.1% ripple; use feedback stabilization
Contamination buildup on surface->Field distortion and arcing->Regular in-situ cleaning; maintain ultra-high vacuum (<10^-8 Torr)

工业生态与工程逻辑

0
Thermal deformation altering focus
1
Voltage instability causing beam drift
2
Contamination from outgassing
3
Misalignment degrading resolution

合规与检测

tolerance
±0.005 mm dimensional, ±1% voltage stability
test method
Electron beam profiling using Faraday cup arrays; field simulation with finite element analysis

制造该组件的工厂

来自 CNFX 组件能力表的相关制造商资料。

制造商列表用于前期研究和供应商能力理解,不代表认证、排名或交易担保。

采购评估维度

不是客户评论,也不是实时热度。以下维度用于前期 RFQ 准备和供应商评估。

技术文档
4/5
制造能力
4/5
可检验性
5/5
供应商透明度
3/5

这些分值是采购评估维度示例,不代表真实客户评分、具体国家买家反馈或实时询盘。

相关组件

常见问题

What is the primary function of the Wehnelt Cylinder?

It controls electron beam focus and regulates emission current through electrostatic repulsion, creating the initial crossover point in electron optical systems.

Why are high melting point materials used?

To withstand thermal loads from proximity to the hot cathode and prevent deformation that would alter electrostatic field geometry.

How does voltage affect beam characteristics?

More negative voltage increases beam convergence (smaller spot) but reduces current; optimal settings balance resolution and signal intensity.

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CNFX 是开放目录,不是交易平台或采购代理。工厂资料和表单用于帮助你准备直接沟通。

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数据基础

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初步技术归类
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