用于精密光学编码器光栅盘的专用玻璃基板。
一种专用玻璃基板，用作精密光学编码器光栅盘的基础元件。这种超平、光学透明的组件作为微观衍射光栅的载体，能够在工业自动化、机器人和精密测量系统中实现高分辨率的位置和运动检测。基板的热稳定性、表面质量和尺寸精度对于保持光栅图案的完整性和测量精度至关重要。 玻璃基板为精密蚀刻的衍射光栅提供稳定、光学透明的平台。当光穿过基板上的光栅图案时，会产生干涉图案，由光电二极管检测。基板的尺寸稳定性确保光栅间距一致，而其光学透明性最小化光散射和畸变，通过干涉图案的相位比较实现精确的位置计算。
玻璃基板 的常用贸易名称、技术标识和检索关键词。
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来自 CNFX 组件能力表的相关制造商资料。
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硼硅酸盐玻璃具有优异的热稳定性（CTE ~3.25×10⁻⁶/°C）和成本效益，适用于大多数工业应用。熔融石英提供卓越的热稳定性（CTE <1×10⁻⁶/°C）和更高的耐温性，适用于极端环境，但成本更高。选择取决于工作温度范围和精度要求。
基板平整度直接影响光栅图案的一致性和光路长度。偏离理想平整度会导致干涉图案中的相位误差，进而引起位置测量不准确。对于高分辨率编码器（纳米级），通常需要λ/20或更好的平整度以保持亚微米测量精度。
在洁净室条件下使用无颗粒擦拭布和高纯度异丙醇（IPA）。避免使用研磨材料，除非经过验证，否则不要使用超声波清洗，因为它们可能损坏精细的光栅图案。在接触清洁前，建议使用氮气吹扫去除松散颗粒。
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