HEPA（高效空气微粒过滤器）和ULPA（超低穿透率空气过滤器）是风机过滤单元（FFU）中的关键组件，用于洁净室和受控环境。
HEPA（高效空气微粒过滤器）和ULPA（超低穿透率空气过滤器）是风机过滤单元（FFU）中的关键组件，用于洁净室和受控环境。这些过滤器通过由随机排列的纤维（通常由玻璃纤维或合成材料制成）构成的致密滤网捕获微小颗粒。HEPA过滤器必须去除至少99.97%的≥0.3微米颗粒，而ULPA过滤器去除≥99.999%的≥0.12微米颗粒。它们作为FFU中的最终过滤阶段，确保为敏感制造工艺提供超洁净空气。 HEPA/ULPA过滤器基于三种主要机制运行：拦截（颗粒与纤维碰撞）、惯性撞击（较大颗粒无法跟随气流流线而嵌入纤维）和扩散（布朗运动使小颗粒漂移到纤维上）。致密的纤维基质形成曲折路径，捕获颗粒，同时允许洁净空气通过。在FFU中，这些过滤器安装在预过滤器和风机下游，提供单向层流气流，颗粒穿透率极低。
HEPA/ULPA过滤器 的常用贸易名称、技术标识和检索关键词。
诱因 → 失效模式 → 工程缓解
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HEPA过滤器捕获≥0.3微米颗粒的效率≥99.97%，而ULPA过滤器捕获≥0.12微米颗粒的效率≥99.999%。ULPA过滤器对更小颗粒具有更高效率，用于更严格的洁净室等级（ISO 1-3）。
更换取决于运行时间、颗粒负荷和压降。通常，在适当的前置过滤下，每3-5年更换一次。监测压降；当压降达到初始值的2-3倍或完整性测试失败时更换。
不可以，这些是一次性过滤器。清洗会损坏纤维基质并降低效率。当性能下降时必须更换。
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