参考镜

参考镜是干涉测量头中的关键光学元件，提供稳定、高反射的参考面，用于比较被测表面。它作为测量平面度、表面粗糙度和尺寸精度的基准，在工业计量应用中可实现纳米级精度。 参考镜反射相干光束（通常为激光），当与从被测表面反射的光结合时产生干涉图案。通过分析这些干涉条纹，系统计算出被测表面相对于参考镜已知光学平面度的精确偏差。