感应电极，又称梳齿驱动器或叉指电极，是3轴陀螺仪中的微机电系统（MEMS）结构。
感应电极，又称梳齿驱动器或叉指电极，是3轴陀螺仪中的微机电系统（MEMS）结构。它们形成可变电容器，用于检测固定（定子）和可动（转子）梳齿之间的科里奥利感应运动。当陀螺仪旋转时，科里奥利力使检测质量块位移，改变梳齿间的电容，该电容变化被转换为与角速度成正比的电信号。 基于电容感应原理工作。固定梳齿固定在基板上，而可动梳齿连接在由弹簧悬挂的检测质量块上。旋转时，科里奥利加速度引起检测质量块在垂直于驱动方向上的振荡，改变梳齿间的重叠面积或间隙，从而调节电容。该电容变化由集成电路测量以计算角速度。
诱因 → 失效模式 → 工程缓解
不是客户评论，也不是实时热度。以下维度用于前期 RFQ 准备和供应商评估。
这些分值是采购评估维度示例，不代表真实客户评分、具体国家买家反馈或实时询盘。
Drive electrodes create controlled oscillation of the proof mass, while sense electrodes detect Coriolis-induced displacement. Both use comb structures but serve different functions in the gyroscope operation.
Silicon provides excellent mechanical properties (high Young's modulus, low internal friction), compatibility with IC fabrication processes, and good electrical conductivity when doped, making it ideal for MEMS structures.
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