ECOPTIK
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ECOPTIK官网提供振镜反射镜片，列硅Si、熔融石英JGS1、H-K9L基底及多种反射镀膜，应用方向包括激光加工、LiDAR、科研与光通信。公司另自述精密光学元件制造和检测设备。此卡对应镜片供货范围；电机、驱动及完整扫描头以各自产品与交付文件界定。
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- 官网产品分类
- ECOPTIK · 振镜反射镜片
- 资料核查日期
- 2026-10-13
先按交付对象选镜片，或选带反馈的扫描组件
基底与镀膜构成镜片，机构与反馈完成扫描功能
四项用于理解从反射面到受控扫描的功能链：前两项对应镜片，后两项对应配套系统。具体型号的交付零件、数量与维修件由该型号清单列明。GVS标准系统包含镜片电机、驱动卡及驱动卡散热器；电源、驱动罩与镜架散热器为另列附件，GVSK套件有自己的配置。[1]
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| 部件 | 作用 | 材料与配置 |
|---|---|---|
| 反射镜基底 | 承载反射表面与膜层。用于振镜时，基底外形、质量分布、转动惯量和加速时保持平面的能力共同参与镜片与电机匹配。[1] | GVS表2.1列Quartz；ECOPTIK镜片页列硅Si、熔融石英JGS1和H-K9L等选项。这些是不同产品资料中的材料，按各自光学与安装设计选用。[2][5] |
| 反射镀膜 | 在规定波段反射入射光。镀膜与实际波长、入射角、偏振以及激光能量和时间条件共同决定光学适用范围。[1][3] | GVS00x配保护银，GVS10x配保护金，GVS20x配-E02宽带介质膜。膜系名称、对应波段与测试记录一起用于识别所订镜片。[2] |
| 执行器与安装机构（系统配套） | 安装机构支撑镜片，执行器改变角度。GVS将镜片形状、惯量、刚度与电机和驱动特性配套，快速扫描时还通过安装与散热路径排走热量。[1] | 按所选组件图纸识别安装件、夹持面与结构材料。GVS页面另列镜架散热器及光机安装适配件，可据实际交付配置组织支撑与连接。[1] |
| 位置检测与反馈（系统配套） | 把角位置反馈给控制级。GVS在电机壳内使用光源与光电检测阵列，根据检测信号控制镜面位置。[1] | 该GVS实例采用光电器件与电子处理级。镜片本体、位置传感器、驱动电子属于不同对象，配套资料分别描述其配置和接口。[1] |
把十四项指标对应到镜片、电机和驱动器
以下GVS数值属于原厂小光束单轴或双轴系列实例，参数表按其测量对象阅读。镜片的口径、面形与镀膜先对应光学任务，电机和电子参数再对应运动与控制；存储和湿度维度作为所订配置的交付条件保留。[1][2]
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| 参数 | 资料与范围 | 选型含义 |
|---|---|---|
| 通光孔径 | GVS：最大入射光束直径5mm；有效口径大于镜片尺寸的90% | 最大入射光束直径描述进光尺寸，有效口径描述满足光学规格的区域。选型同时检查全扫描行程的光束足迹，双轴系统再分别读X和Y的角度表。[2][6] |
| 面形精度 | GVS：正面平面度λ，测试波长633nm | 原厂表2.1将该项写为前表面平面度λ、波长633nm。图纸中的面形误差、反射波前及PV或RMS采用各自明确的测量定义，连同有效区域和镀膜状态组织验收。[2][6] |
| 表面质量 | GVS：40-20 scratch-dig | 40-20描述划痕与麻点，面形则描述表面形状偏差。Edmund解释常见scratch-dig的MIL-PRF-13830B比较法；本页采用其术语说明，各项按约定方法分别检验。[2][6] |
| 反射率 | GVS概览：各指定波段平均反射率大于95% | 概览的平均值对应保护银500nm–2μm、保护金800nm–20μm与-E02介质400–750nm波段。单一工作波长、偏振和入射角下的表现由相应曲线与测试条件描述。[1] |
| 角度分辨率 | GVS机械分辨率：线性电源0.0008°；普通开关电源0.004° | 表2.1按GPS011-xx线性电源与普通开关电源分列，约合15μrad与70μrad。这是电机/位置检测系统的机械分辨率；镜片光学误差和物面定位另有测量对象。[2] |
| 重复定位精度 | GVS电机与位置传感器重复性15μrad | 原厂把重复性与分辨率分项列出。用它评价相同条件下返回位置的一致性，整机试验再约定方向、速度、热稳定状态和实际测量位置。[2] |
| 扫描范围 | GVS最大机械角可至±12.5°，受光束尺寸与轴限制 | 表2.1最大值带0.8V/°比例系数；表2.2另按光束直径及轴列推荐机械角。5mm双轴X为±8°，Y为+12.5°/−3°，全行程光路按这组不对称范围评估。[2] |
| 工作温度 | GVS电机/驱动电子部分工作0–40℃ | 原厂分别将0–40℃列在电机/位置传感器和驱动电子部分。设备环境与安装散热一起评估，激光照射面再按镀膜的损伤与热条件判断。[2][1][3] |
| 存储温度 | 存储温度由所购镜片及组件文件确认 | 所订配置的运输、长期存储及包装条件列入交付资料。本页所引GVS表2.1给出工作温度，存储条件采用该配置的单独文件。[2] |
| 相对湿度 | 湿度与凝露条件按具体镀膜/组件确认 | 将湿度、凝露、洁净度与包装一并列为环境要求。镀膜表面污染会降低损伤阈值，选型把保存与操作环境同激光使用条件联系起来。[3] |
| 基底材料 | GVS列Quartz；ECOPTIK另列Si、JGS1、H-K9L | 基底材料随产品分别列出。对裸镜片还应把材料牌号、外形、厚度、镀膜面和安装接口放在同一张光学及机械图纸中。[2][5] |
| 镀膜类型 | 保护银、保护金或指定介质膜系 | 膜系按工作波段与激光条件选用。比较不同镀膜的损伤数据时保留波长、脉宽、光斑及测试对象，名称相同的介质膜仍各有具体设计。[2][3] |
| 重量 | GVS电机带线、不带支架：50g（0.05kg） | 50g为原表的带线电机、不带支架这一配置。镜片惯量用于运动匹配；镜片、支架、驱动、电源与包装分别计入相应供货和运输质量。[2][1] |
| 驱动电压 | GVS驱动供电±15至±18VDC；位置指令输入±10V | ±15至±18VDC是驱动供电，±10V是模拟位置指令；光学位置传感器另列40–80μA输出。电源、指令与反馈按各自端口和配套接线资料连接。[2] |
用每轴推荐角度检查光束足迹，再选扫描速度
Thorlabs表2.2按光束直径列推荐机械角。下面保留双轴GVS002／102／202的两组数据：5mm光束的Y轴一侧较早受口径限制，4mm光束对应另一组推荐范围。单轴GVS001／101／201在5mm光束时又是+10°／−12.5°，应分别采用所选结构的数据。[2]
角度表用于检查光束在全行程内的通光情况。单镜的机械角与光束角使用前述两倍关系；双轴系统则由两镜与后续光学联合确定可用工作区域。[4][1][2]
扫描速度还取决于摆幅与指令波形。GVS全幅带宽分别为方波DC–100Hz、正弦DC–250Hz、三角及锯齿DC–175Hz；小角±0.2°带宽为DC–1kHz。选型按实际轨迹和幅度读取这两类条件，避免把小角速度拼成全幅能力。[2]
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| 双轴系统入射光束 | X轴推荐机械角 | Y轴推荐机械角 |
|---|---|---|
| 5mm | ±8° | +12.5° / −3° |
| 4mm | ±8.5° | ±12.5° |
把损伤阈值连同波长、脉宽和光束条件一起比较
Thorlabs损伤专表5.1给出GVS00-为3J/cm²（1064nm、10ns），GVS10-为2J/cm²（1064nm、10ns），GVS20-为0.25J/cm²（532nm、10ns）。这三项各有测试波长，用于相应型号的条件判断。[3]
GVS20-的波长在概览和专表5.1均为532nm，Specs表2.1的共用脚注却写1064nm、10ns、10Hz和Ø1.000mm光束。本页保留型号专表的532nm／10ns，并把这处原厂内部差异列入询价资料；专表未随该项重列的频率和光斑保持待提供状态。[1][2][3]
脉冲激光按能量密度、脉宽和重复频率等条件评价；Thorlabs连续激光教程采用W/cm线功率密度，考虑波长、光束直径与强度分布。高重复频率还涉及热效应。这组10ns阈值不能直接作为飞秒或连续激光的使用保证。[3]
面形、表面缺陷和激光损伤是三个评价维度。Edmund用面形说明平面相对参考面的形状偏差，用scratch-dig说明划痕与麻点；Thorlabs另用专门损伤测试评价激光作用。光学图纸与测试文件把这三项分列，能减少仅凭反射率或外观选型的遗漏。[6][3]
将镜面污染、机构受力和散热列入不同检查路径
污染颗粒会降低激光损伤阈值。出现散射、烧蚀斑或光斑异常时，先依设备安全程序停止相关激光暴露，再由具备相应能力的人员在受控状态检查光路、镜面及安装状态。膜层清洁按该镜片认可的材料与服务方法进行。[3]
带转动机构的系统出现异常摩擦声、撞击声、定位漂移或响应异常时，将这些现象作为设备故障排查线索，结合反馈、驱动和散热检查原因。GVS说明快速变化的指令可能积热，导致电机损坏或驱动热保护动作；其安装和散热路径按实际扫描负载配置。配套1m电机线与驱动及内部传感器经过校准，改线与调谐交由原厂规定的服务流程处理。[1][4]
历史Cambridge 6210 Rev.0手册（1999）提醒该型号的前轴承污染、粗暴受力和冲撞限位会损伤机构，并要求通过指定安装面导热。这些用于说明该历史型号的处理边界，实际所购组件采用自己的安装与维护文件。[4]
排查时不能以提高功率补偿尚未排除的光斑异常；对前述6210，原厂还明确禁止污染物进入前轴承、强扭到限位和未接散热器运行。前轴承污染物包括灰尘、溶剂、水与油，所需防护随该型号手册执行。[3][4]
整机验收分别检查光学性能、反馈定位与全行程光路。6210手册对该型号失电或故障时的光束方向专门提出防护要求；系统集成据具体设备设计故障状态下的激光控制与出光防护。Thorlabs所说Class 0是伺服控制类别，整套设备的激光安全另按系统文件评价。[4][1]
向厂家要的资料：一套镜片图纸，加上实际扫描任务
镜片文件：提供外形和厚度图、基底牌号、有效口径、镀膜面、工作波长或波段、入射角和偏振；分别约定面形的测量对象及PV／RMS、表面质量的方法、检查区域和交付报告。存储温度、湿度、洁净度及包装条件放在同一套交付要求中。[2][5][6]
激光与检测资料：给出连续或脉冲模式、功率或单脉冲能量、脉宽、重复频率、光束直径及其定义和强度分布。索取该型号对应的损伤测试条件与报告，特别核对GVS20-专表和总表脚注的波长差异；其它试样的教程测试记录与所购型号分别识别。[3][2]
扫描组件文件：列明单／双轴、每轴机械角、光束尺寸、轨迹波形与频率、重复定位试验和热稳定条件；提供供电、指令、反馈、针脚、安装散热与线缆配置。把镜片、电机、驱动卡、各散热器、电源和罩壳逐项列为含或另购，再形成供货与验收清单。[1][2]
ECOPTIK将振镜反射镜片应用列在激光加工、汽车LiDAR、科研和光通信方向，可据具体光学需求向其询问镜片。聚焦光学、执行机构和位置检测的目录关系帮助梳理系统接口，所订镜片与整机能力仍通过各自型号文件衔接。[5]
关联的应用系统与部件
以下入口来自产品关系，用于继续查阅；具体机型的装配和兼容性仍需对应型号资料。
应用系统
资料来源与适用范围
核对日期：2026-10-13。Thorlabs三页分别用于GVS结构、参数和损伤数据，型号表与通用教程分开阅读。Cambridge 6210 Rev.0是1999年历史资料：本页除第2页角度定义外，还引用第2页操作与故障光束警示、第5页导热安装，仅用于该6210的处理实例。ECOPTIK资料为企业公开供货及制造自述；Edmund用于光学术语。原厂未公开的本批交付条件集中于“向厂家要的资料”。
- Thorlabs：Small Beam Diameter Scanning Galvo Mirror Systems — Overview实际阅读机构、光学反馈、波段反射率、配套线缆、散热及交付内容；GVS系统专用。
- Thorlabs：Specs，表2.1、2.2镜片、电机与驱动分项规格及各光束直径下推荐机械角；不泛化为整个品类。
- Thorlabs：Damage Thresholds，表5.1与测试说明逐型号损伤阈值；GVS20-波长采用专表532nm，总表通用脚注差异在正文说明，具体采购需原厂报告。
- Cambridge Technology 6210手册，Rev.0，1999-02-10，第2页UCSD保存的6210原厂历史手册，Rev.0（1999-02-10）；第2页角度定义、操作和故障光束警示，第5页导热安装，仅用于该型号的历史实例。
- ECOPTIK：Galvanometer Mirror基底选项与应用方向。网页反射率与扫描角未给完整测试/角度定义，不作为本页通用性能保证。
- Edmund Optics：Understanding Optical Specifications有效口径、scratch-dig与面形术语；不是所购镜片的检测证书。
- ECOPTIK：About Us精密光学元件制造、检测及长春联系地址为企业自述；不采信市场占有率或未核证书。