该系统基于连续空气过滤和调节的原理运行。空气从洁净室或外部吸入,通过一系列高效微粒空气(HEPA)或超低穿透率空气(ULPA)过滤器以去除污染物。经过调节的空气(温度和湿度已调整)然后通过加压静压箱和扩散器供应到洁净室,产生单向或湍流气流,将颗粒从关键区域扫走。回风系统完成循环,通常保持洁净室相对于相邻空间的正压,以防止未过滤空气的渗入。精密的传感器和控制系统持续监测环境参数,并调节风机速度、冷却/加热盘管以及加湿/除湿单元以维持设定点。
| 参数 | 典型区间 | 选型说明与越界后果 |
|---|---|---|
| 换气次数 | 15–60 次/小时 | 洁净室内空气每小时被完全置换的次数ISO 14644-1 |
| 温度控制范围 | 18–26 摄氏度 | 系统可维持洁净室空气温度的范围ISO 14644-1 |
| 相对湿度控制范围 | 30–70 % RH | 系统可维持洁净室相对湿度的范围ISO 14644-1 |
| 房间压差 | 10–30 帕 | 洁净室与相邻参考区域(如走廊)之间维持的压力差值ISO 14644-1 |
| 过滤效率 | 99.99–99.999 % | 最终HEPA/ULPA过滤器在指定粒径(如0.3微米)下的颗粒去除效率ISO 29463 |
| 气流速度 | 0.3–0.5 m/s | For unidirectional flow cleanroomsISO 14644-1 |
| 粒子浓度 | ≤3520 颗粒/立方米 | At 0.5 µm for ISO Class 5ISO 14644-1 |
| 温度精度 | ±0.5 °C | Tighter tolerance for sensitive processes |
| 湿度精度 | ±5 % RH | Tighter tolerance for sensitive processes |
| 电源电压 | 380–480 V AC | Three-phase, 50/60 HzIEC 60038 |
| 功耗 | 15–45 kW | Depends on room size and class |
| 工作温度 | 5–40 °C | Ambient conditions for system operation |
| 工作湿度 | 20–80 % RH | Non-condensing |
| 防护等级 | IP54–IP65 | Protection against dust and water jetsIEC 60529 |
区间为行业参考值,供询价时圈定范围用,不构成供应商承诺。下单前请向法人制造商核实每一项数值与标准。
诱因 → 失效模式 → 工程缓解
| pressure: | 5-50 Pa正压差,最大100 Pa |
| flow rate: | 0.3-0.5 m/s垂直层流 |
| temperature: | 15-25°C (59-77°F),稳定性±0.5°C |
2 家企业把这个产品列在自己的产品线里。卡片上的公司数据摘自各家官网,每张卡都注明这条关系的依据来自哪里。
制造商列表用于前期研究和供应商能力理解,不代表认证、排名或交易担保。
不是客户评论,也不是实时热度。以下维度用于前期 RFQ 准备和供应商评估。
这些分值是采购评估维度示例,不代表真实客户评分、具体国家买家反馈或实时询盘。
主要标准包括ISO 14644-1(洁净室分类和测试)、ISO 29463(HEPA/ULPA过滤器效率)、IEC 60038(电压)和IEC 60529(防护等级)。这些标准作为采购参考;实际合规性必须与制造商核实。
换气次数取决于洁净室等级和工艺要求。例如,ISO 14644-1对不同等级规定了不同的换气次数。系统的换气次数范围为每小时15–60次,但具体数值必须根据房间体积、颗粒产生量和所需洁净度水平计算。请咨询制造商或洁净室工程师。
定期维护包括更换或测试HEPA/ULPA过滤器、清洁风管和扩散器、检查传感器校准以及检查风机和盘管。监测压差和气流速度有助于检测过滤器堵塞或系统故障。请遵循制造商的维护计划。
可以,系统可以设计为具有更严格的控制公差,例如温度精度±0.5°C和湿度精度±5% RH,适用于敏感工艺。然而,这些能力取决于系统配置,必须与制造商确认您的具体应用。
CNFX 是开放目录,不是交易平台或采购代理。工厂资料和表单用于帮助你准备直接沟通。
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说明目标数量、应用场景、交期和关键技术要求,用于准备 RFQ 或供应商评估。