Scanner Optics Co., Ltd.
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深圳市思特光学科技股份有限公司官网列出ST振镜电机（11个型号，入口光斑≤7 mm至50～120 mm）、Ultra光电振镜电机和Extra光栅振镜电机（S／M／L三档），另有模拟和数字振镜驱动板、光电与光栅振镜方头、场镜和打标控制卡。公司自述集研发、生产和销售为一体。
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- 官网产品分类
- 思特光学（Scanner Optics）· ST／Ultra／Extra振镜电机
- 资料核查日期
- 2026-10-17
转角只有几十度、靠反馈闭环的力矩电机
转子、定子线圈和预紧轴承
三项为电机本体的机械部分；位置传感器、反射镜和驱动板属于整只振镜的配套件，在后文按选型问题分别说明。所引厂家资料只给出电气和性能参数，具体磁钢牌号、绕组和轴承规格以供货方图纸为准。
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| 部件 | 作用 | 材料与配置 |
|---|---|---|
| 转子（含永磁体与镜片接口） | 承载永磁体并通过轴端夹持反射镜，转动惯量决定加速能力。思特称其ST电机转子经过优化，具有高刚性和低摩擦；SCANLAB把转子设计看作动态特性和整定特性的主要来源。[2][10] | 动磁结构，永磁体随转子转动；转子惯量按型号列出，例如思特ST 200为0.013 g·cm²，ST 260为40.47 g·cm²。[2] |
| 定子与线圈 | 固定的线圈通入驱动电流后与转子磁场作用产生力矩。线圈的电阻决定发热，电感影响电流上升速度，两项都按型号标注。[1][2] | 铜绕组线圈；思特ST系列线圈电阻0.6～3.6 Ω、电感25～600 µH，Novanta 62xxK／83xxK为0.60～3.7 Ω、52～1030 µH。[2][9] |
| 轴承 | 支承转子并保证无间隙转动。SCANLAB的dynAXIS采用轴向预紧的精密滚珠轴承，使转子无回差、刚度高、摩擦小，并专门针对长期运行的寿命做了轴承设计。[10] | 精密滚珠轴承，轴向预紧（SCANLAB dynAXIS实例）；滚珠与保持架材料按供货方资料。[10] |
十一项指标在思特与Novanta型号表里的实际取值
振镜电机的规格是按口径档位逐个型号列出的，下表给出两家公开型号表的跨度和代表值，型号名称附在数值旁。电源电压和防护等级属于驱动器或整机层面的条件，按所在位置写明。[2][9]
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| 参数 | 资料与范围 | 选型含义 |
|---|---|---|
| 驱动供电电压 | 由配套伺服驱动板决定：思特STServo I～III为±15～±28 V，UltraServo系列为±15 V | 振镜电机本身按电流和线圈参数标注，电压要求出现在驱动板上。同一驱动板的峰值电流还受电源和负载影响，选电源时按驱动板说明留足容量。[6] |
| 峰值电流 | 思特ST 200为6 A、ST 260为18 A；Novanta 6200K为6 A、6260K为40 A | 峰值电流决定短时加速力矩，配套驱动板的电流上限要覆盖它：思特STServo I／II／III分别为6／10／12 A峰值。[2][9][6] |
| 转矩常数 | 思特ST系列0.9～86 N·mm/A；Novanta 62xxK为1.20×10⁴～8.5×10⁵ dyne·cm/A，折合1.2～85 N·mm/A | 转矩常数乘以电流得到力矩，例如ST 201为0.9 N·mm/A × 6 A = 5.4 N·mm。两家单位不同，比较前统一换算为N·mm/A（1 dyne·cm = 10⁻⁴ N·mm）。[2][9] |
| 最大偏转角（机械角） | 思特ST系列±20°；Ultra、Extra系列±12.5°；Novanta 62xxK／83xxK最大扫描角40° | 思特注明各角度均为机械角。Novanta规格书注明除另有说明外为机械角，其产品网页表格则注为光学角，这一口径按所订型号的规格书书面写明。[2][3][9][8] |
| 重复精度与线性度 | 思特ST、Ultra重复精度<2 µrad，Extra<1 µrad；Novanta短期重复精度8 µrad，位置检测器线性度在20°内≥99.9% | 这些是电机加位置传感器的指标，单位为微弧度。整机在工件面上的定位误差还要叠加场镜、标定和温漂，验收时按工件面实测。[2][3][4][9] |
| 阶跃响应时间 | 思特ST系列0.1～1.0 ms（中文页标“上升时间”，英文页标“1%角度响应时间”）；Novanta小角度阶跃100～200 µs | Novanta的数值以0.1°阶跃、整定到终值99%以内为条件，需配其伺服板，并随镜片尺寸变化。比较不同品牌时，把阶跃幅度、整定判据和所带镜片一起写进询价单。[2][5][8] |
| 转子惯量 | 思特ST系列0.01～40.47 g·cm²；Novanta 0.013～47.5 g·cm²（±10%） | 惯量随口径档位上升，响应时间随之变长：ST 201为0.01 g·cm²、0.2 ms，ST 260为40.47 g·cm²、1.0 ms。加上镜片后的总惯量才是驱动板调参的依据。[2][9] |
| 线圈电阻 | 思特ST系列0.6～3.6 Ω；Novanta 0.60～3.7 Ω（±10%） | 电阻乘以电流平方即线圈发热功率，是估算转子温升的起点。思特ST 260在中文页为0.6 Ω、英文页为1.2 Ω，订货时按书面规格书取值。[2][5][9] |
| 温度限值 | Novanta：转子最高温度110 °C，连续电流按壳温50 °C标定；思特驱动板工作温度0～50 °C | 电机本体给的是转子温度上限和转子到外壳的热阻，环境温度和散热条件要由整机设计保证，具体算法见“电流与发热”一节。[9][6] |
| 防护等级 | 按安装位置提出：电机通常装在扫描头壳体内，防护由扫描头和光路密封承担 | 思特要求镜片远离灰尘、潮气和腐蚀性气体，并要求激光光路密闭。裸电机单独外露安装时，在询价单里写明粉尘、湿度和冷却方式，由供货方给出对应结构。[7] |
| 重量 | 思特ST系列12 g（ST 201）～1040 g（ST 260）；Novanta 13.3 g（6200K）～1200 g（6260K） | 重量随口径档位跨两个数量级，影响支架刚度和扫描头总重。Novanta称其紧凑型号便于装进狭小空间。[2][9] |
先看入口光斑，电机档位跟着定
思特ST系列按入口光斑分成11个型号，从≤7 mm到50～120 mm；口径越大，转子惯量、转矩常数和重量都随之上升，响应时间也从0.1～0.2 ms拉长到1.0 ms。[2] 下表摘取其中七个型号（数值取自思特中文型号页）。
做法是先按激光在扫描头处的光束直径，加上偏转时光斑在镜面上的移动余量，定出所需口径，再在该口径的档位里比较响应和精度。SCANLAB也按口径分系列：dynAXIS为6～30 mm，dynAXIS 3为10～30 mm，dynAXIS 421为3～6 mm，后者用于生物医学和眼科成像、共聚焦显微和激光医疗。[10]
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| 思特ST型号 | 入口光斑 | 转动惯量 | 转矩常数 | 峰值电流 | 上升时间 | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 201 | 3～7 mm | 0.01 g·cm² | 0.9 N·mm/A | 6 A | 0.2 ms | 12 g |
| 210 | 7 mm | 0.018 g·cm² | 2.7 N·mm/A | 8 A | 0.13 ms | 18 g |
| 220 | 7～10 mm | 0.126 g·cm² | 6.0 N·mm/A | 15 A | 0.15 ms | 50 g |
| 230 | 14 mm | 0.78 g·cm² | 13.1 N·mm/A | 10 A | 0.25 ms | 230 g |
| 240 | 20～30 mm | 2.073 g·cm² | 20 N·mm/A | 12 A | 0.35 ms | 320 g |
| 250 | 50～80 mm | 14.3 g·cm² | 70.8 N·mm/A | 15 A | 0.8 ms | 420 g |
| 260 | 50～120 mm | 40.47 g·cm² | 86 N·mm/A | 18 A | 1.0 ms | 1040 g |
替换旧电机时，把同尾号型号的电气数据摆在一起
思特ST与Novanta 62xxK的多数型号尾号一一对应（200／6200K、210／6210K……260／6260K），多数档位的转矩常数相同或接近，例如两家230档都是13.1 N·mm/A、240档都是20 N·mm/A。[2][9] 转子惯量、线圈电阻、峰值电流和重量则各有差别，见下表。
替换时还要看位置传感器的输出信号，它决定原驱动板能否直接读取：思特ST的共模输出为130 µA（AGC电流40 mA）、差模11.5 µA/°，Novanta为155 µA（AGC电流25 mA）、差模12 µA/°。Novanta规格书列出的兼容驱动板为模拟671、672、673和数字DC900、DC3000 Plus。[2][9] 换型后按新电机和镜片重新整定伺服参数。
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| 档位 | 转矩常数（N·mm/A） | 转子惯量（g·cm²） | 线圈电阻（Ω） | 峰值电流（A） | 重量（g） |
|---|---|---|---|---|---|
| 思特ST 200 ／ Novanta 6200K | 1.2 ／ 1.2 | 0.013 ／ 0.013 | 2.1 ／ 2.14 | 6 ／ 6 | 13 ／ 13.3 |
| 思特ST 220 ／ Novanta 6220K | 6.0 ／ 6.17 | 0.126 ／ 0.125 | 2.8 ／ 2.79 | 15 ／ 20 | 50 ／ 42.5 |
| 思特ST 240 ／ Novanta 6240K | 20 ／ 20 | 2.073 ／ 2.4 | 1.1 ／ 1.03 | 12 ／ 25 | 320 ／ 356 |
| 思特ST 260 ／ Novanta 6260K | 86 ／ 85 | 40.47 ／ 47.5 | 0.6 ／ 0.60 | 18 ／ 40 | 1040 ／ 1200 |
光电反馈和光栅反馈：把漂移换算成热机后的偏移量
思特把振镜电机按反馈方式分为两类：光电振镜电机（Ultra系列）用光电传感器反馈，强调性价比；光栅振镜电机（Extra系列）用光栅编码器反馈，分辨率达23 bit，增益漂移和重复精度更好。[3][4] Novanta则用同一结构分出标准漂移的62xxK和低漂移的83xxK。[9]
分辨率按思特的换算，18 bit在25°范围内约为1.7 µrad，23 bit在360°范围内约为0.75 µrad。[2] 漂移要按热机温升和工作角度换算：温度变化10 K时，零位漂移15 µrad/K带来150 µrad偏移，与角度无关；增益漂移按工作角度放大，ST在±20°边缘约为40 ppm/K × 10 K × 0.349 rad ≈ 140 µrad，Extra在±12.5°边缘约为8 ppm/K × 10 K × 0.218 rad ≈ 17 µrad。以上温升为示例取值。
从表中看，光栅Extra的优势在增益漂移和重复精度，零位漂移上限与ST相同，比光电Ultra的10 µrad/K还高；对需要长时间保持零点的设备，零位漂移这一项单独比较。换算到工件面时，单片镜的光束偏转角是机械角的两倍，以焦距160 mm的场镜为例，150 µrad机械角偏移约对应48 µm的光斑位移（示例计算）。
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| 系列 | 反馈与分辨率 | 最大偏转角 | 重复精度 | 零位漂移 | 增益漂移 |
|---|---|---|---|---|---|
| 思特ST | 光电编码器，18 bit | ±20° | <2 µrad | <15 µrad/K | <40 ppm/K |
| 思特Ultra（光电） | 光电传感器，18 bit | ±12.5° | <2 µrad | <10 µrad/K | <25 ppm/K |
| 思特Extra（光栅） | 光栅编码器，23 bit | ±12.5° | <1 µrad | <15 µrad/K | <8 ppm/K |
| Novanta 62xxK | 专利位置检测器 | 40° | 8 µrad（短期） | ≤15 µrad/°C | ≤50 ppm/°C |
| Novanta 83xxK | 专利位置检测器 | 40° | 8 µrad（短期） | ≤5 µrad/°C | ≤15 ppm/°C |
峰值电流管加速，连续电流管转子温度
峰值电流乘转矩常数得到短时力矩：思特ST 260为86 N·mm/A × 18 A ≈ 1.55 N·m，ST 201为5.4 N·mm。[2] 驱动板的电流上限要与之对应，思特STServo I、II、III分别为6、10、12 A峰值，并注明受电源和负载影响。[6]
持续扫描时，发热按连续电流有效值计算。Novanta 6200K的最大有效值电流为2.3 A（壳温50 °C），线圈电阻2.14 Ω，发热约2.3² × 2.14 ≈ 11.3 W；乘以转子到外壳的热阻3.8 °C/W，转子比外壳高约43 °C，外壳在50 °C时转子约93 °C，低于110 °C的转子上限。[9] 线圈电阻随温度上升，实际余量比这个估算更小；外壳散热变差或连续扫描波形更陡时，转子会先到上限。
线圈电阻的取值直接影响这笔账。思特ST 260连续电流10 A，中文页电阻0.6 Ω对应约60 W发热，英文页1.2 Ω对应约120 W，相差一倍。[2][5] 大口径电机的散热安排要以书面规格书中的电阻和热阻为依据。
装上扫描头以后的注意事项，以及订货时一次要齐的数据
思特对扫描头使用的要求包括：运行时禁止触碰或阻挡镜片运动，并防止镜片被碰撞；检查扫描头前先关闭激光器和扫描头电源；扫描头远离强磁场，以免损坏电子元件；镜片防尘、防潮、防腐蚀气体，戴棉手套接触，用专用擦镜纸清洁。[7] 振镜电机是动磁结构，强磁场要求同样适用于单独存放和搬运的电机。
思特还说明每台电机都通过运动学和动力学仿真匹配了一定惯量的镜片，SCANLAB也称其电机与偏转镜的惯性负载相匹配。[2][10] 因此更换镜片尺寸或材质时，电机、镜片和驱动参数作为一组重新确定。
下单或替换时，请供货方书面提供：型号对应的入口光斑、转子惯量（单独及带镜片）、转矩常数、线圈电阻与电感、连续及峰值电流、热阻与转子温度上限；阶跃响应及其阶跃幅度和整定判据；重复精度、零位与增益漂移及测试温度范围；位置传感器类型、分辨率和输出信号；兼容驱动板型号与供电；角度是机械角还是光学角。思特ST型号的中英文页面在ST 260线圈电阻、电感和若干型号口径上有差异，请供货方书面确认所订型号的取值。[2][5][8][9]
关联的应用系统与部件
以下入口来自产品关系，用于继续查阅；具体机型的装配和兼容性仍需对应型号资料。
应用系统
关联部件
资料来源与适用范围
核对日期：2026-10-17。型号数值均取自厂家官网产品页和规格书，于2026-10-17访问；思特ST型号同时比对了中文与英文页面，正文采用中文页数值并注明差异。漂移、发热和工件面位移的换算为示例计算，温升和焦距为假设值。
- 思特光学：振镜电机（产品总览）扫描振镜电机的定义、工作过程和核心组成，光电与光栅两类电机的定位；用于定义、原理和厂家卡片。
- 思特光学：ST振镜电机ST 201～260共11个型号的口径、惯量、转矩常数、线圈、电流、上升时间、重量及传感器参数；用于参数表、口径表、替换对照和计算。
- 思特光学：光电振镜电机（Ultra系列）Ultra系列S／M／L的电气参数与传感器参数（±12.5°、零位漂移<10 µrad/K、增益漂移<25 ppm/K）；用于反馈方式对比。
- 思特光学：光栅振镜电机（Extra系列）Extra系列光栅编码器反馈说明与参数（重复精度<1 µrad、增益漂移<8 ppm/K、23 bit）；用于反馈方式对比。
- Scanner Optics：ST-Galvo Scanner（英文页）与中文页对照：响应时间标为1%角度响应时间，ST 260线圈电阻、电感及若干型号口径与中文页不同；用于参数说明和订货要点。
- Scanner Optics：Analog Galvo DriverSTServo与UltraServo驱动板的供电、峰值电流上限和工作温度；用于电压、电流和温度参数。
- Scanner Optics：FAQ扫描头使用安全条目（运行中禁止触碰或阻挡镜片、检查前断电、远离强磁场、镜片防护与清洁）；用于防护等级和装机注意事项。
- Novanta：62xxK and 83xxK Series Galvanometers（产品页）动磁转子说明、小角度阶跃响应100～200 µs及其条件、角度标注为光学角；用于原理和阶跃响应。
- Novanta：62xxK／83xxK Galvanometers 规格书（PDF，版权年2022）6200K～6260K九档的口径、惯量、转矩常数、热阻、线圈、电流、重量，转子最高温度110 °C、重复精度、漂移、输出信号与兼容驱动板；用于参数、替换对照和发热计算。
- SCANLAB：Galvanometer Scanners（dynAXIS系列）动磁电机加位置检测器的结构、轴向预紧滚珠轴承、电机与镜片惯量匹配及dynAXIS各系列口径；用于原理、轴承和口径分档。