物镜

物镜是干涉光学头中的关键光学组件，负责从测量表面收集光线并将其聚焦到干涉仪的探测器上。它决定了系统的分辨率、工作距离和视场，通过干涉图案实现精确的非接触式表面测量。本目录条目涵盖用于光学干涉测量的物镜，通常用于表面计量、轮廓测量和其他精密测量应用。该透镜设计用于可见光（400–700 nm），焦距范围为10至50 mm，数值孔径为0.10至0.90，工作距离为0.5至20 mm。通光孔径范围为5至30 mm，在指定波长范围内透射率至少为95%。表面平整度在632.8 nm处为λ/10（峰谷值），表面质量按MIL-PRF-13830B为20-10划痕-麻点，并参考ISO 10110。中心误差限制在3角分或更小。工作温度范围为-40°C至85°C，存储温度范围为-50°C至100°C（非冷凝环境）。重量根据尺寸和材料不同为50至200 g。安装螺纹为M25×0.75，符合ISO 68-1。档案中的材料包括光学玻璃和熔融石英。这些规格是典型范围；实际值必须针对具体型号和应用进行确认。物镜是组件，不是完整系统，需要集成到干涉光学头中。采购时，请与法定制造商或供应商核实型号特定参数和标准。

物镜通过折射入射光线使其会聚于焦点。在干涉系统中，它收集从目标表面反射的光线，并将其与参考光束结合，产生编码表面高度信息的干涉条纹。透镜的数值孔径和焦距决定了系统的分辨率和景深。较高的数值孔径可提高分辨率，但会减小景深；较长的焦距可增加工作距离，但可能降低放大倍率。透镜必须正确对准，以最小化影响测量精度的中心误差。工作原理依赖于光的波动性；表面特征引起的任何光程偏差都会改变干涉图案，从而实现精确的高度测量。该透镜设计用于受控环境，在指定工作温度范围之外性能可能会下降。定期检查表面质量和清洁度对于保持测量完整性至关重要。