技术参数与制造背景： 射频功率发生器
| 参数 | 典型区间 | 选型说明与越界后果 |
|---|---|---|
| 输出功率 | 100–1000 W | Selectable to match plasma process requirements |
| 频率 | 13.56 MHz | Standard RF frequency for plasma processing |
| 频率精度 | ±0.01 % | Ensures stable plasma conditions |
| 输出功率稳定性 | ±0.5 % | Critical for process repeatability |
| 输入电压 | 180–264 V AC | Universal input for global use |
| 输入频率 | 47–63 Hz | Compatible with mains supplies |
| 效率 | ≥85 % | Higher efficiency reduces cooling requirements |
| 工作温度 | 0–40 °C | Derate above 40°C |
| 存储温度 | -20–70 °C | Non-operational storage |
| 湿度 | ≤90 % RH | Non-condensing |
| 防护等级 | IP54 | Protection against dust and water sprayIEC 60529 |
| 冷却方式 | Air | Forced air cooling |
| 尺寸（宽×高×深） | 440×88×500 mm | 19-inch rack mountable, 2U height |
| 重量 | ≤15 kg | Lightweight for easy installation |
区间为行业参考值，供询价时圈定范围用，不构成供应商承诺。下单前请向法人制造商核实每一项数值与标准。
| pressure: | 大气压操作，工艺腔室压力范围 500-1000 mTorr |
| other spec: | 流量：工艺气体流量 50-500 sccm，浆料浓度：不适用（干法等离子体工艺），频率范围：标准 13.56 MHz 或 2.45 MHz，功率输出：典型值 100W 至 5000W |
| temperature: | 工作环境温度 10°C 至 40°C，储存温度 0°C 至 50°C |
诱因 → 失效模式 → 工程缓解
不是客户评论，也不是实时热度。以下维度用于前期 RFQ 准备和供应商评估。
这些项目是采购核对事项，不代表真实客户评分、具体国家买家反馈或实时询盘。
2 家企业把这个产品列在自己的产品线里。卡片上的公司数据摘自各家官网，每张卡都注明这条关系的依据来自哪里。
结合厂家产品范围与来源资料比较需求，联系时说明规格、数量和交期。
说明目标数量、应用场景、交期和关键技术要求，用于准备 RFQ 或供应商评估。
目录中列出的输出功率范围为100–1000 W，可根据等离子体工艺要求进行选择。但具体范围可能因型号而异，请与制造商确认。
标准频率为13.56 MHz，常用于等离子体处理。也可能提供其他工业频率，但具体型号的值需核实。
发生器接受180–264 V AC的输入电压和47–63 Hz的输入频率，使其兼容全球市电。请务必检查铭牌上的确切额定值。
防护等级为IP54（IEC 60529），提供防尘和防喷水保护。冷却方式为强制风冷。这些规格是参考值，应针对实际设备进行确认。
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该产品或部件会出现在以下工业系统、设备或上级产品中。
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