该系统采用多级泵送布置。初级泵（如罗茨鼓风机）将压力从大气压降至中等真空。然后高真空泵（扩散泵、涡轮分子泵或低温泵）达到最终低压。气体分子通过机械或动力学作用从腔室转移到排气口。 具体设备的控制顺序、接口行为、启停联锁、报警阈值及维护步骤取决于所选型号和上下游工艺集成条件。
| 参数 | 典型区间 | 选型说明与越界后果 |
|---|---|---|
| 抽速 | 1000–6000 m³/h | Effective pumping speed at inlet flangeISO 21360 |
| 极限压力 | 0.05–0.5 Pa | Lowest achievable pressure without gas loadISO 21360 |
| 工作压力范围 | 10–1000 Pa | Typical degassing pressure range |
| 漏率 | ≤1×10⁻⁶ Pa·m³/s | Maximum allowable leak rate of systemISO 21360 |
| 电机功率 | 15–90 kW | Total installed power of vacuum pumps |
| 电压 | 380–690 V AC | Three-phase supply, 50/60 HzIEC 60038 |
| 频率 | 50–60 Hz | Mains frequencyIEC 60038 |
| 冷却水流量 | 1.5–6 m³/h | Required for pump cooling |
| 冷却水温度 | 5–35 °C | Inlet temperature range |
| 环境温度 | 5–40 °C | Operating environmentIEC 60721-3-3 |
| 噪音水平 | 70–85 dB(A) | At 1 m distanceISO 11203 |
| 重量 | 500–3000 kg | Total system weight |
| 外形尺寸（长×宽×高） | 2000×1500×1800–4000×2500×3000 mm | Footprint and height |
区间为行业参考值，供询价时圈定范围用，不构成供应商承诺。下单前请向法人制造商核实每一项数值与标准。
诱因 → 失效模式 → 工程缓解
| pressure: | 极限真空：1e-3 至 1e-6 毫巴，工作范围：1000 毫巴 至 1e-3 毫巴 |
| flow rate: | 10 至 10,000 立方米/小时（取决于泵组配置） |
| temperature: | 环境温度至 150°C（典型），采用特殊密封件可达 200°C |
不是客户评论，也不是实时热度。以下维度用于前期 RFQ 准备和供应商评估。
这些分值是采购评估维度示例，不代表真实客户评分、具体国家买家反馈或实时询盘。
入口法兰处的有效抽速通常为1000–6000 m³/h，依据ISO 21360。请与制造商确认具体型号的准确值。
ISO 21360涉及抽速、极限压力和泄漏率。IEC 60038涉及电压和频率。这些是验证参考，并非合规证明。
系统需要三相电源（380–690 V AC，50–60 Hz）和冷却水流量（1.5–6 m³/h，温度5–35 °C）。环境温度应为5–40 °C。
最大允许泄漏率为≤1×10⁻⁶ Pa·m³/s，依据ISO 21360。验证应由制造商或合格人员使用适当的检漏方法进行。
CNFX 是开放目录，不是交易平台或采购代理。工厂资料和表单用于帮助你准备直接沟通。
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