转子、定子和轴承解释涡轮分子泵，冷表面解释低温泵，阴极解释离子泵。此表为功能结构参考；制造BOM的数量与料号属于具体型号，供应范围以厂家对应产品资料为依据。
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| 部件 | 作用 | 材料与配置 |
|---|---|---|
| 转子｜涡轮分子泵 | 高速旋转表面向气体分子传递动量，与定子构成抽气级，向前级口输送气体。[1] | 转子材料、牌号与表面处理随型号设计，气体适应性、转速和维修方法采用对应图纸与手册条件。 |
| 定子｜涡轮分子泵 | 固定叶片与转子配合形成逐级输送路径，属于涡轮分子泵抽气级的定子。[1] | 实际叶片／壳体材质及气体接触范围由该泵厂家说明，维修采用对应真空泵的部件图与料号。 |
| 轴承系统｜涡轮分子泵 | 支承高速转子，可采用机械轴承或磁悬浮等设计，安装方向和维护取决于具体结构。[1] | Leybold区分钢球、混合轴承（钢滚道与陶瓷球）和磁悬浮；润滑条件取决于轴承设计，磁悬浮设计仍可包含停机保护轴承。[1] |
| 冷表面｜低温泵 | 在低温面板及吸附材料上捕集气体；不同气体的捕集方式和容量不同，运行后需要再生。[2] | 面板、吸附材料及其连接随冷头／泵设计，材料和工作温度按各捕集部件分别规定。[2] |
| 阴极｜溅射离子泵 | 承受离子轰击，产生溅射和离子埋入；生成的吸气膜对反应性气体参与捕集。[3] | Leybold技术说明以钛阴极为例，二极／三极结构对惰性气体的行为不同；气体性能按电极结构与相应曲线判断。[3] |
型号比较同时列气体组成与负载、工艺压力、真空室容积和抽空时间。极限压力描述特定测试条件下的结果，持续通气运行采用工作压力下的抽速与气体负载。
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| 参数 | 资料与范围 | 选型含义 |
|---|---|---|
| 极限压力 | 带气体、密封、烘烤及配套条件的型号极限压力 | ISO 21360-1:2020规定测量方法，极限压力数值属于具体型号与测试配置。宝斯页面的接口压力摘要与表格有差异，比较依据为澄清后的规格书。[4][5] |
| 抽速 | 指定气体和入口压力的抽速曲线；注明L/s或m³/h | 宝斯FFZ250/2000PM-W列氮气2000L/s，单位换算为7200m³/h，适用于该型号的氮气泵口抽速。真空室有效抽速还受管路、阀门和挡板导流能力限制，其他气体采用各自曲线。[5][6] |
| 驱动及系统用电功率 | 分别列泵驱动、电源、前级泵或低温压缩机的供电及功率 | 宝斯该型号列最大功率≤750W，属于该泵参数；前级泵与整套系统另计。低温泵配置另列冷头和压缩机，各项用电按准确供货清单汇总。[2][5] |
| 电源电压 | 控制器、电源模块和配套设备各自的供电版本 | 宝斯该型列220V；电网频率、相数和附件供电采用对应控制器、电源及配套设备文件，按供货版本分别列出。[5] |
| 频率 | 输入电网频率与驱动/转子频率分别列出 | 电网Hz、控制器输出频率和转子rpm分别描述供电与旋转条件。宝斯列转速24000rpm，输入电网条件采用电源及驱动文件。[1][5] |
| 工作温度范围 | 环境、冷却介质、烘烤与工艺气体温度分别列明 | 低温面板温度描述捕集部件状态，环境温度另有额定。涡轮分子泵冷却与停机放气采用准确型号手册的相应条件。[1][2] |
| 防护等级 | 泵驱动、外壳、插接件等具体部位防护及安装环境 | 真空法兰密封与电气设备防尘防水分别规定，防护等级及其覆盖部位采用所选型号文件。[5] |
| 噪声级 | 所选泵及前级/压缩机的噪声数据与测试条件 | 噪声以相应测试条件下的dB(A)等指标表达，振动幅值另列；分析仪器还涉及振动传递。轴承状态依据型号诊断与检修要求判断。[1][5] |
| 重量 | 泵体、驱动、附件及配套机组各自质量 | 宝斯该型列40kg，完整装配的支承与固定还计入驱动、附件及配套机组，并满足运行要求。[5] |
| 外形尺寸（长×宽×高） | 外形图、法兰位置、安装方向、冷却和检修空间 | 宝斯该型列任意方向安装，适用范围限该型号。外形、支承、安全固定和检修空间采用完整图纸，其他轴承结构按对应安装文件布置。[1][5] |
| 接触介质材料 | 与工艺气体接触的部件、密封与润滑配置 | 相容性涉及全部气体接触部件、密封与操作条件；泵本体气路、轴承润滑和前级泵分别列明。氮气性能对应氮气，腐蚀性／反应性气体采用所列工艺气体的适用说明。[1][3][5] |
| 接口尺寸 | 入口、前级/出口及辅助接口的完整法兰制式与尺寸 | 宝斯列CF250/LF250入口和KF40出口；选配同时匹配法兰制式、名义尺寸、密封与压力条件，并落实到双方连接图。[5][6] |
连续输送与气体捕集各有维护机制。前级泵配套、启动和停止次序、持续运行方式，以及换油、轴承、冷却或再生维护，均按所选泵型的系统文件确定。[1][2][3]
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真空室与泵之间的管路、阀门和挡板限制气体流通。Leybold说明，系统有效抽速低于泵自身抽速，导流能力随气体、尺寸、长度和流动状态变化。抽空时间与运行能力应结合工作压力下的有效抽速、真空室条件和气体负载评估。[6]
极限压力、持续通气压力和压缩比分别描述不同性能。压缩比按指定气体及前级／高真空端分压定义，氢气与氮气表现不同；具体工艺采用相应气体的性能曲线及测试条件。[1][4]
关电不等于转子已经停止；冷却、隔离和放气次序须依准确操作手册执行。宝斯公开页列升速时间，停转时间、完整放气与维护流程另列入交付文件。[1][5]
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集中提交真空室任务与验收资料单：气体组成和流量、连续／间歇负载、工艺压力、容积与抽空时间、入口制式、前级泵、冷却、电源与安装环境。敏感仪器另列低振动或污染控制要求；供方回复对应气体曲线与压缩比、抽速／极限压力测试位置和条件、完整配置图、供电及安装文件、气体相容性、启动／隔离／放气与检修说明，并澄清宝斯页面压力及润滑差异。[1][2][4][5][6]
真空室、真空计、密封和前级泵属于系统配套；镀膜、晶圆工艺属于应用任务，电子显微镜属于应用设备。转子平衡属于厂家维修／制造工序，维修清单采用该泵部件图，定子和轴承按准确泵型选配。真空抽气系统入口供继续阅读，型号兼容按具体配置验证。[1][7]
验收分别记录系统密封与旋转结构状态：氦检漏针对密封，振动采用相应结构的测量条件。测试结论和证书各按其覆盖对象、项目与条件使用。[4][5]
核对日期：2026-10-13。标准公开摘要支持其范围；具体尺寸、公差和验收要求须按约定标准全文及图纸执行。
比较厂家官网列出的产品系列，在本页查看资料、准备采购需求。
宝斯官网列FFZ250/2000PM-W水冷涡轮分子泵，提供氮气抽速、气体压缩比、入口／出口接口及前级配套信息。本页厂家资料范围限该型号涡轮分子泵；页面脂润滑特性与油润滑应用段落、接口极限压力摘要与表格存在差异，具体压力和润滑配置以澄清后的型号文件为依据。
采购需求由 CNFX 接收处理。厂家认领标识与产品资料来源分别展示；具体型号、供货及交期以双方确认为准。
极限压力应带气体、密封、配套与测试条件。持续通气的工艺压力则结合该工况气体负载和有效抽速判断；ISO 21360-1提供测量方法，具体数值属于型号测试结果。[4][6]
每种气体采用各自抽速曲线与压缩比；真空室有效抽速还计入管路、阀门等导流限制。氮气泵口值对应其标定条件。[1][6]
维护按泵型及实际油／脂部位执行。机械轴承、磁悬浮、低温捕集与离子泵各有结构和维护项目，前级泵润滑与高真空泵本体分别处理。[1][2][3]
气体适用性依据准确型号的全部气体接触材料、密封、保护与操作条件，由厂家对所列工艺气体和负载给出相应适用说明；金属牌号只描述其中一项材料条件。[1][5]
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