行业验证制造数据 · 2026

高真空泵

基于 CNFX 目录中多个工厂资料的聚合洞察,高真空泵 在 机械和设备制造 行业中通常会围绕 极限压力 到 抽速 进行能力评估。

技术定义与核心装配

一个典型的 高真空泵 通常集成 转子 与 定子。CNFX 上列出的制造商通常强调 不锈钢 结构,以支持稳定的生产应用。

一种专用泵,用于在真空系统内实现并维持极低压力水平(通常低于10^-3 mbar)。

高真空泵 的工业制造场景图
产品参考图片;具体外观与规格请向制造商确认。

技术定义

高真空泵是真空泵送系统的关键部件,负责创建和维持各种工业和科学过程所需的高真空环境。它在前级(粗抽)泵将压力降低到高真空泵送机制有效的水平之后运行,使系统能够达到其最终的低压工作范围。本产品是用于集成到更大系统中的组件,而非独立单元。它通常用于半导体制造、薄膜涂层、电子显微镜和研究实验室等应用。该泵设计用于与各种系统配置配合使用,其性能通过极限压力、抽速、电机功率、电源电压、频率、工作温度范围、防护等级、噪音水平、重量、尺寸、接液部件材质和连接尺寸等参数来表征。这些参数作为参考范围提供,必须针对具体型号和应用进行验证。泵体采用不锈钢、铝合金和特种陶瓷等材料制造,这些材料因其耐用性和与真空环境的兼容性而被选用。接液部件通常由不锈钢304/316L制成,具有耐腐蚀性,适用于腐蚀性介质。泵的工作原理包括动量传递(如涡轮分子泵)或气体捕集(如低温泵或溅射离子泵)。选择泵时必须根据所需的抽速和工作压力,并确保与当地电网和环境条件兼容。在采购时,务必与法定制造商或供应商核实型号特定值和标准,因为所列标准(如ISO 21360、IEC 60038、IEC 60529、ISO 3744、ASTM A240、DIN 2501)仅作为测试和接口的参考,而非认证证明。泵的性能和可靠性取决于正确的安装、操作和维护。定期检查噪音水平、振动和温度可以指示潜在问题。超出规定范围运行可能会影响性能和密封寿命。本目录条目提供中立概述;请务必咨询制造商以获取详细规格和合规性信息。

工作原理

高真空泵通常基于动量传递(例如涡轮分子泵,利用高速旋转叶片将气体分子导向排气口)或气体捕集(例如低温泵,在极冷表面上冷凝和捕集气体分子;或溅射离子泵,利用电场电离并将气体原子埋入阴极材料)等原理运行。这些机制仅在粗抽泵将压力降低到它们可以有效工作的水平后才起作用。泵的设计和材料选择旨在承受高真空操作的严苛要求,包括低出气和耐腐蚀性。可达到的极限压力取决于泵类型和系统设计。正确的选择和集成对于实现所需的真空度至关重要。

技术参数

技术参数
参数典型区间选型说明与越界后果
极限压力≤ 1×10^-3 毫巴Lower ultimate pressure enables higher vacuum applications.ISO 21360
抽速50–200 m³/hDetermines evacuation time; higher speeds reduce cycle time.ISO 21360
电机功率1.5–7.5 kWSelect based on required pumping speed and operating pressure.
电源电压380 V AC ±10% VOther voltages available on request.IEC 60038
频率50/60 HzEnsure compatibility with local grid.IEC 60038
工作温度范围5–40 °CExceeding range may affect performance and seal life.
防护等级IP54–IP55Higher rating for dusty or wet environments.IEC 60529
噪声级60–75 dB(A)Lower noise preferred for indoor installations.ISO 3744
重量80–350 kgAffects installation and structural support.
外形尺寸(长×宽×高)800×400×500 – 1200×600×800 mmCheck space availability and service access.
接触介质材料Stainless steel 304/316LCorrosion resistance for aggressive media.ASTM A240
接口尺寸DN25–DN100 mmMatch with system piping for proper flow.

区间为行业参考值,供询价时圈定范围用,不构成供应商承诺。下单前请向法人制造商核实每一项数值与标准。

主要材料

不锈钢 铝合金 特种陶瓷

组件 / BOM

Components / BOM
  • 转子
    高速旋转部件(用于涡轮分子泵),将动量传递给气体分子,引导其流向排气口。
    材料: 铝合金或钛合金
  • 定子
    固定部件,带有叶片,与转子协同工作以引导气流并提升泵送效率。
    材料: 不锈钢或铝
  • 轴承系统
    支撑高速转子,通常采用磁悬浮或陶瓷球轴承以最小化摩擦和污染
    材料: 陶瓷、特种合金
  • 冷表面
    低温泵版本:非常冷的面板,冷凝并保持气体分子而不是将其推出。
  • 阴极
    离子泵型:电离的气体原子被埋入这种阴极材料中。

FMEA · 风险与缓解

诱因 → 失效模式 → 工程缓解

油污染超过100 ppm颗粒物浓度 在3000 RPM工作转速下旋转叶片卡死 集成0.1微米绝对过滤系统,并在0.5巴阈值进行压差监测
冷却水温度超过25°C持续60分钟 热膨胀导致0.05毫米转子-定子间隙违规 冗余热电冷却系统,维持15±2°C,具备2×10³ W热移除能力

工程推理

运行范围
范围
1×10⁻⁹ 至 1×10⁻³ 毫巴
失效边界
1×10⁻⁹ 毫巴极限压力阈值
在极限压力下,分子返流超过1×10⁻⁶ 毫巴·升/秒,这是由于泵液蒸汽压限制以及内表面出气造成的。
制造语境
高真空泵 在 机械和设备制造 中会按材料、工艺窗口和检验要求共同评估。

行业别名与关键词

该产品在 CNFX 数据库中的搜索词、别名和技术称呼。

应用产品 / 所属系统

该产品或部件会出现在以下工业系统、设备或上级产品中。

工业生态与供应链结构

应用匹配与尺寸矩阵

运行限制
pressure:极限真空度:<10^-3 毫巴,入口压力范围:10^-3 至 1013 毫巴
other spec:抽速:1-1000 立方米/小时(取决于型号),功耗:0.5-15 千瓦,最大颗粒尺寸:<5 微米,无油运行
temperature:-20°C 至 +80°C(工作温度),-40°C 至 +100°C(储存温度)
兼容性
干燥气体(N2, Ar, He)半导体工艺气体(SF6, CF4)高纯度分析应用
不适用:未经特殊涂层处理的腐蚀性或反应性气体(HCl, Cl2)
选型所需数据
  • 所需极限真空度(毫巴)
  • 在操作压力下所需的抽速(立方米/小时)
  • 工艺气体成分和流量(标准立方厘米/分钟或标准升/分钟)

可靠性与工程风险分析

失效模式与根因
油污染与劣化
原因:工艺气体、湿气或颗粒物进入泵油,导致化学分解、粘度增加和润滑性能丧失,通常是由于过滤不足、气体镇气不当或密封失效造成的。
轴承故障
原因:在负载下高速运行而缺乏适当的润滑或冷却,加之不对中、振动或热应力加剧,导致磨损、过热,并最终卡死或发生灾难性故障。
维护信号
  • 泵壳发出异常的高频啸叫或研磨噪音,表明轴承磨损或转子接触。
  • 油液颜色明显异常(例如,呈乳白色或深色)或油耗过高,表明存在污染或内部泄漏。
工程建议
  • 实施严格的油液分析和更换周期,使用制造商推荐的高真空油,并配合适当的气体镇气以去除可凝物并保持油液纯度。
  • 确保安装时的精确对中,使用振动监测来早期发现轴承问题,并保持持续冷却以防止热过载并延长机械部件寿命。

合规与制造标准

参考标准
ISO 21360-1:2019 真空技术 - 真空泵性能测量的标准方法ANSI/AVS 4.1-2003(R2014) 容积式真空泵的试验程序
制造精度
  • 叶轮间隙:±0.01mm
  • 密封面平面度:0.05mm
质量检验
  • 氦气检漏(真空完整性)
  • 振动分析(旋转平衡)

生产 高真空泵 的制造商

1 家企业把这个产品列在自己的产品线里。卡片上的公司数据摘自各家官网,每张卡都注明这条关系的依据来自哪里。

Ningbo Baosi Energy Equipment Co., Ltd.
· CN
2005 年成立
还生产: Vacuum Pump System、Vacuum Valve、Vacuum Pump
依据其官网产品页 · 档案由 CNFX 依公开来源整理
官网上的名称:“high vacuum pump”
查看来源页 ↗ baosivacuum.com · 核验于 2026-08-22

制造商列表用于前期研究和供应商能力理解,不代表认证、排名或交易担保。

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采购评估维度

不是客户评论,也不是实时热度。以下维度用于前期 RFQ 准备和供应商评估。

技术文档
4/5
制造能力
4/5
可检验性
5/5
供应商透明度
3/5

这些分值是采购评估维度示例,不代表真实客户评分、具体国家买家反馈或实时询盘。

供应链相关产品与组件

执行器控制器

一种电子设备,用于管理和控制自动化系统中执行器的运行。

查看规格 ->
农业机械

用于农业作业以提高效率和生产力的机器和设备。

查看规格 ->
全地形起重机

一种移动式起重机,设计用于在铺装道路和崎岖的越野地形上作业,具有卓越的机动性和起重能力。

查看规格 ->
铰接式自卸卡车

一种重型非公路车辆,在驾驶室和自卸车身之间设有枢轴接头,以增强在崎岖地形上的机动性。

查看规格 ->

常见问题

这种高真空泵的典型极限压力是多少?

极限压力通常≤1×10^-3 mbar,依据ISO 21360。但实际值取决于具体型号和系统配置。请务必与制造商核实。

常见的抽速范围是多少?

抽速范围为50–200 m³/h,依据ISO 21360。所需抽速取决于排气时间和系统容积。请确认您的应用所需的确切值。

接液部件使用什么材料?

接液部件通常由不锈钢304/316L制成,具有耐腐蚀性,适用于腐蚀性介质。其他材料如铝合金和特种陶瓷可能用于非接液部件。

该泵适用哪些标准?

相关标准包括ISO 21360(真空泵性能)、IEC 60038(电压和频率)、IEC 60529(防护等级)、ISO 3744(噪音测量)、ASTM A240(不锈钢)和DIN 2501(连接尺寸)。这些是验证参考,而非合规证明。

我可以直接联系工厂吗?

CNFX 是开放目录,不是交易平台或采购代理。工厂资料和表单用于帮助你准备直接沟通。

CNFX Industrial Index v2.6.09 · 机械和设备制造

数据基础

CNFX 制造商资料、技术分类、公开产品信息和持续合理性检查。

初步技术归类
本页用于结构化准备研究、RFQ 和供应商评估,不替代买方自己的供应商资质审查、标准核验和技术批准。
采购询盘

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你的信息不外流
我们不出售、不出租询盘数据,也不会把你加进营销邮件列表。只用于回复这一条询盘。
不抽佣、不做中间商
CNFX 是目录方。我们不从任何订单里抽成,也不会代供应商谈判。
我们不承诺什么
收录不等于背书。下单前请自行考察供应商、核实每一项数值。

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