AHU从洁净室抽取回风和/或室外新风。随后，空气通过一系列组件进行处理：用于去除颗粒物的过滤器（如HEPA/ULPA）、用于温度控制的加热和冷却盘管，以及用于湿度调节的加湿器/除湿器。然后，一台强力风机将处理后的空气通过风管系统循环送回洁净室环境。
诱因 → 失效模式 → 工程缓解
| pressure: | 静压能力高达 2000 Pa |
| flow rate: | 500-50,000 CFM（可根据风机配置调整） |
| temperature: | 15-30°C（典型工作范围），-10 至 50°C（扩展范围） |
| filtration efficiency: | MERV 13 至 HEPA H14（适用于洁净室应用） |
不是客户评论，也不是实时热度。以下维度用于前期 RFQ 准备和供应商评估。
这些分值是采购评估维度示例，不代表真实客户评分、具体国家买家反馈或实时询盘。
在关键区域使用不锈钢是为了防止腐蚀和污染，确保对敏感电子和光学制造工艺至关重要的超洁净空气质量。
AHU通过其多级过滤系统、通过加热/冷却盘管实现的精确温湿度控制，以及防止颗粒物产生的防污染材料来维持空气质量。
建议定期更换过滤器（通常每3-6个月）、检查风机电机润滑情况，并定期清洁盘管，以维持最佳性能和空气质量标准。
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