按镜片被测量选择测头、基准和软件
由探头、定位、夹持到处理，构型按方法选择
四项是测量工位的探测、定位、支承和处理功能参考。XY、调焦、旋转基准、倾斜平移或六自由度配置按实际测量方法选择，夹持和软件模块随样品及交付方案配套。[2][4]
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| 部件 | 作用 | 材料与配置 |
|---|---|---|
| 光学测量头与相应光路 | 按所选方法产生、接收和解析光学信号。OptiSurf用于低相干干涉厚度/间隔测量，OptiCentric采用对应测头定心，探头原理与测量任务成套选择。[1][2][4] | 壳体、光学件、探测器和测头按实际型号列项，内部材料与制造要求采用对应配置资料。 |
| 定位、调焦与基准运动 | 使被测面与测量基准对应，按任务平移、调焦、倾斜或旋转。OptiCentric的台体、空气轴承与PRO静样品/旋转测头构型用于相应任务。[4] | 平台、导向、基座和反馈按具体结构配套，机械定位指标用于运动环节，镜片最终测量按光学方法和样品评价。[4][5] |
| 镜片夹具、卡盘与样品支承 | 支承镜片并建立相对测量轴或旋转基准的位置关系。LTM用自定心机械卡盘测带柄/不带柄及胶合双片等对象，接触位置和遮挡结合样品选择。[2][4] | 接触件、软爪和安装接口按图纸及材料要求交付，薄片和镀膜接触的损伤风险通过实际夹持、重装夹和样件检查评价。 |
| 采集、计算与结果管理 | 获取信号、识别表面、调用设计数据并输出计算和判定。OptiSurf软件支持设计导入、偏差及统计分析，生产控制握手按集成方案验证。[1][2] | 测量电子单元、计算机、软件和许可证各有交付项，处理与接口性能按实际测量及系统配置定义。 |
范围、精度和节拍必须保留被测量与型号条件
范围与统计指标随被测量、样品和配置使用。目录桌面设备与OEM集成分别定义质量、空间和接口，完整工位按实际镜头、方法及测试条件验收。
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| 参数 | 资料与范围 | 选型含义 |
|---|---|---|
| 被测尺寸与有效范围 | OptiSurf：最高800mm光学距离；LTM玻璃厚度50mm，可扩150mm | Version002的LTM直径为200mm、可选300mm；OptiSurf光学扫描距离、LTM玻璃几何厚度和夹持直径各按自身对象使用。样品波段、表面可见性和光路共同决定可测范围。[1][2][3] |
| 测量准确度与限定条件 | 目录：OptiSurf 1µm；UP 0.15µm；LTM几何厚度±0.5µm | OptiSurf1µm与UP0.15µm按光学平面间100mm空气间隔、2σ准则给出；LTM±0.5µm限几何厚度构型。实际样件采用相应被测量和方法验收。[2][3] |
| 重复性及重装夹条件 | OptiSurf目录：0.5µm；UP＜0.075µm | 0.5µm与<0.075µm为目录重复性表述，原表未列±误差带。重复次数、统计定义、同次装夹/重装夹与环境用于相应重复试验。[2][3][6] |
| 扫描时间与完整节拍 | OptiSurf／UP：6s／100mm；IR：15s／100mm（目录） | 6s/100mm与IR15s/100mm为目录测量时间；完整周期计入装卸、对准、稳定、计算、传输和异常复测，以实际样品和全部项目验证产量。[2][3][4] |
| 分辨率、显示位数与可判公差 | 按测量模式说明；本次资料未给统一分辨率 | OptiCentric网页0.1µm用于定心指标，读数位数、反馈步距与OptiSurf测量指标各有对象，可判公差采用实际样件和相应测量方法证据。[4][6] |
| 运行环境、稳定与环境补偿 | UP列温度／气压传感器；标准版为选项 | UP配温度/气压传感器，标准版相应选配用于环境测量；温控、稳定条件及校准/装夹环境按所选OEM或桌面配置落实。[1][2][3] |
| 湿度、凝露与污染控制 | 环境允许值与光学清洁条件单独确认 | 目录尚缺统一湿度允许值，样品、光路及接触面在凝露、油雾或尘污暴露下的可测状态，连同清洁后复核一并评价。[1][2] |
| 供电与系统电气边界 | OEM测量单元、控制电脑与整机输入分开列明 | OEM测量单元、控制电脑、运动及附件采用各自输入、连接和保护条件，整机电气由实际配置文件界定。[1][2] |
| 功耗与配套负载 | 测头、处理器、运动与辅助设备分别预算 | 桌面整机与OEM按各自范围预算，测头、处理器、运动及额外执行器按实际选件列运行和峰值功率。[2][4] |
| 防护与测量表面暴露 | 外壳、电气组件、光路与工位防护分别说明 | 罩体、光路、电气和维护通道随安装环境设计，污染防护与热稳定、遮挡和测量光路共同评价，防护等级采用对应配置依据。[1][4] |
| 计算机接口与自动线控制 | Version002目录OptiSurf／UP／IR：USB | Version002列USB，OEM支持外部集成；触发、忙/完成/失效、样品ID、原始曲线、结果和超时重试形成项目握手，PLC闭环按实际协议和软件版本验证。[1][2] |
| 质量与支承范围 | 目录桌面OptiSurf系列50kg；LTM29.5kg | 50kg与29.5kg分别对应所列桌面设备，集成按实际交付总成、重心和支承设计，裸OEM单元质量采用自身配置。[2][3] |
| 外形、工作空间与维护空间 | OptiSurf高965～1240×宽370×深560mm；LTM高350×宽500×深560mm | 尺寸按桌面设备的高×宽×深读取，OptiSurf高度可变；集成包络加入样品夹具、运动全程、光路、线缆及装卸维护空间，OEM以自身安装图设计。[2][3] |
从被测表面和基准轴选择测量组合
OptiSurf OEM用于外部系统集成，OptiCentric用于定心/对准，3D组合及OptiSpheric升级扩展相应测量任务。先按图纸列中心厚度、空气间隔、偏心或其他待测量，再匹配测头、运动和软件，形成完整功能配置。[1][4]
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在相同被测量和统计条件下比较结果
光学距离与玻璃几何厚度采用各自定义。LensGage升级提供未知折射率时的中心厚度及群折射率测量，范围与准确度随该模块使用；默认方案仍按所选材料、波段、结构与模型提供样品数据。[2]
OptiSurf标准/UP的1µm/0.15µm按100mm光学平面间空气间隔和2σ给出，重复性另列0.5µm/<0.075µm且未写±限。2022表的IR数值与Version002“micrometer range”、当前IR OEM页面描述各有版本和样品条件，比较订单配置时保留这些差别。[1][2][3]
定心对准帮助沿光轴测厚，实测间隔可进入内部偏心光线追迹，基准、材料和模型共同参与结果。验收记录包含参考样品及溯源资料、原始曲线和表面识别、参考值与误差/不确定度说明、软件版本，以及重复和重装夹条件。[1][2][4]
ISO5725-1:2023公开摘要讨论真度、精密度和受控测量研究，本页未读付费正文；ISO10360-2:2009公开范围为离散点接触探测的笛卡尔CMM，不明确适用于光学探测。标准号不能代替本光学工位在对应样件、方法和条件下的测量证据。[5][6]
以有效测量和重装夹复核衔接生产判定
自动判断核对样品ID、配方版本、定位状态和表面识别完整性。定位未完成、反射信号不足、缺面、通信超时或重试不能按合格数据放行，异常状态、复测和控制握手由项目实际验证；软件的曲线模型、统计和pass/fail输出用于相应环节。[1][2]
基准检查变差、识别缺面或重装夹散布增大时，检查样品/基准污染、光路对准、夹具接触遮挡、运动状态、环境及配方版本，再按原因处理。清洁和维护采用原厂程序，之后以基准及实际样件复验，夹紧和清洁方式按薄片/镀膜等具体样品评价。[1][2][4]
工位节拍以实际镜头、全部项目和完整装夹流程测试，OEM集成范围包括电气、软件和异常恢复。桌面质量尺寸与安装要求用于相应整机，集成方按实际光路、运动、线缆及装卸维护空间布置。[1][2][4]
向厂家要的资料：让样品、测量配置和验收记录对应
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资料来源与适用范围
核对日期：2026-10-14。桌面设备与OEM模块分开，型号例及统计条件不能移作所有光学计量工位的保证。厂家资料是技术参考；本页尚无已核实的中国供货厂家。
- TRIOPTICS：OptiSurf产品、软件与OEM范围OptiSurf厚度/间隔、软件及OEM功能；标准、UP及IR配置各按相应被测量和版本使用。
- TRIOPTICS：OptiSurf与LTM目录Version002Version002七页目录，采用3–6页功能及技术表脚注；分别读取光学/几何量、100mm空气间隔2σ、重复性、USB和桌面尺寸质量。
- TRIOPTICS：OptiSurf技术表，20222022单页表含准确度脚注、IR依样品及仅与OptiCentric组合条件，与Version002的IR描述保留版本差别，实际订单对应所选规格。
- TRIOPTICS：OptiCentric定心、对准与扩展OptiCentric定心/对准、3D/PRO及OptiSpheric升级的配置与软件范围，各参数采用相应测量方案。
- ISO10360-2:2009官方公开范围ISO10360-2:2009公开范围涉及接触探测笛卡尔CMM，对光学探测适用性未明确；付费全文未读，未补允差或认证结论。
- ISO5725-1:2023官方公开范围ISO5725-1:2023公开范围的真度/精密度与受控统计研究；付费正文未读，未编试验次数、算法或合格限。