基片夹具通过精密夹具机械夹紧或固定光学透镜基片来工作。在镀膜操作期间,它可能旋转以确保涂层材料的均匀沉积,通过集成的加热/冷却元件保持热稳定性,并在需要时提供电气接地。其设计最大限度地减少了振动,并在真空条件下保持了位置精度。
诱因 → 失效模式 → 工程缓解
| pressure: | 高真空至 10^-6 托 |
| flow rate: | 最大基片重量:5 公斤,振动容差:< 0.1 μm RMS |
| temperature: | -50°C 至 300°C |
不是客户评论,也不是实时热度。以下维度用于前期 RFQ 准备和供应商评估。
这些分值是采购评估维度示例,不代表真实客户评分、具体国家买家反馈或实时询盘。
该基片夹具使用不锈钢以获得耐用性和耐腐蚀性,使用铝合金用于轻质结构部件,并使用陶瓷用于耐高温的热板,以在镀膜过程中提供优异的热稳定性。
精密夹紧机构施加均匀压力而不损坏精密基片,确保在整个真空镀膜过程中的安全定位,同时保持光学对准并防止移动或振动。
该基片夹具专为光学透镜镀膜应用设计,包括抗反射涂层、镜面涂层、滤光片涂层以及其他用于计算机、电子和光学产品制造的真空腔室中的薄膜沉积工艺。
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