行业验证制造数据 · 2026

基片夹具

基于 CNFX 目录中多个工厂资料的聚合洞察,基片夹具 在 计算机、电子和光学产品制造 行业中通常会围绕 基板直径 到 基板厚度 进行能力评估。

技术定义与核心装配

一个典型的 基片夹具 通常集成 夹紧机构 与 旋转接口。CNFX 上列出的制造商通常强调 不锈钢 结构,以支持稳定的生产应用。

一种精密夹具,在真空室镀膜过程中牢固固定光学镜片基片。

基片夹具 的工业制造场景图
产品参考图片;具体外观与规格请向制造商确认。

技术定义

基片夹具是精密光学镜片镀膜室中的关键部件,设计用于在薄膜沉积过程中牢固地定位和保持光学镜片基片。它确保基片的精确对准、稳定安装和均匀热管理,以实现镜片表面一致的镀膜厚度和质量。该夹具通常与腔室的旋转机构和加热系统接口,以优化镀膜均匀性。它采用不锈钢、铝合金或陶瓷等材料制造,设计用于承受真空条件和温度变化。它可容纳直径范围为25.4至152.4毫米、厚度为0.5至10毫米的基片,夹持力可在5至50牛顿之间调节,以防止变形。定位精度保持在±0.05毫米以内,重复性在±0.02毫米以内,确保批次间的一致放置。工作温度范围为-20至200°C,工作压力范围为1.0至1.6兆帕,参考 进行压力测试。材料等级SUS304(根据ASTM A240)指定用于耐腐蚀性,表面粗糙度保持在Ra 0.8微米,以防止污染和划伤。重量根据尺寸和配置在0.5至2.5千克之间变化。这些参数作为参考范围;实际值必须与制造商确认以用于特定应用。该夹具的设计在真空下最大限度地减少振动并保持位置精度,有助于均匀的镀膜沉积。它可能包括集成加热或冷却元件以实现热稳定性,以及如果需要的话提供电气接地。作为组件,它对于在精密镜片制造中实现高质量光学镀膜至关重要。

工作原理

基片夹具通过使用精密夹具机械夹紧或固定光学镜片基片来操作。在镀膜操作期间,它可能旋转以确保镀膜材料的均匀沉积,通过集成加热/冷却元件维持热稳定性,并在需要时提供电气接地。其设计在真空条件下最大限度地减少振动并保持位置精度。夹持力可调节以防止变形,夹具与腔室的旋转和加热系统接口以优化镀膜均匀性。材料和表面处理的选择是为了避免污染和划伤,确保批次间一致的镀膜质量。

技术参数

技术参数
参数典型区间选型说明与越界后果
基板直径25.4–152.4 mmStandard sizes for optical lenses
基板厚度0.5–10 mmAccommodates common lens substrates
夹持力5–50 NAdjustable to prevent deformation
定位精度±0.05 mmEnsures coating uniformity
重复定位精度±0.02 mmConsistent placement across batches
工作温度-20–200 °CCompatible with vacuum coating processes
材料SUS304Corrosion-resistant stainless steelASTM A240
表面粗糙度Ra 0.8 μmPrevents contamination and scratching
重量0.5–2.5 kgDepends on size and configuration

区间为行业参考值,供询价时圈定范围用,不构成供应商承诺。下单前请向法人制造商核实每一项数值与标准。

主要材料

不锈钢 铝合金 陶瓷

组件 / BOM

Components / BOM
  • 夹紧机构
    在不造成损坏或变形的情况下固定光学透镜基板
    材料: 不锈钢
  • 旋转接口
    连接腔室驱动系统,实现基板在镀膜过程中的旋转功能
    材料: 铝合金
  • 热板
    在沉积过程中提供受控加热或冷却以维持基板温度
    材料: 铜或铝
  • 安装底座
    将支架固定到腔室内部框架上的结构基础件
    材料: 不锈钢

FMEA · 风险与缓解

诱因 → 失效模式 → 工程缓解

基片表面残留烃类污染物 (CₓHᵧ) 薄膜附着力失效(分层 >ISO 3 级) 在 0.5 毫巴 Ar/O₂ 混合气体中,使用 13.56 MHz 射频放电在 100 W 下进行 300 秒等离子体清洗
烘烤期间夹具上的热梯度 >50°C/mm 基片沿 Si 中 (111) 晶面断裂 采用 PID 控制 (Kₚ=1.2, Kᵢ=0.05, K_d=0.1) 进行 2°C/分钟的梯度限制加热斜坡

工程推理

运行范围
范围
10⁻⁶ 至 10⁻² 毫巴真空压力,20-150°C 温度,0.1-5.0 N·m 夹紧力矩
失效边界
真空泄漏 >10⁻³ 毫巴,热膨胀失配在 200°C 时 >15 µm,夹紧力矩 <0.05 N·m 或 >7.0 N·m
出气引起的压力上升超过克努森流态 (λ/d < 0.01),因瓦合金与熔融石英之间的差异热膨胀 (Δα = 23×10⁻⁶ K⁻¹),夹紧界面处的应力集中超过屈服强度 (σ > 250 MPa)
制造语境
基片夹具 在 计算机、电子和光学产品制造 中会按材料、工艺窗口和检验要求共同评估。

别名与俗称

基片夾具

行业别名与关键词

该产品在 CNFX 数据库中的搜索词、别名和技术称呼。

应用产品 / 所属系统

该产品或部件会出现在以下工业系统、设备或上级产品中。

应用匹配与尺寸矩阵

运行限制
pressure:高真空至 10^-6 托
other spec:最大基片重量:5 公斤,振动容差:< 0.1 μm RMS
temperature:-50°C 至 300°C
兼容性
光学玻璃基片硅片陶瓷镜片毛坯
不适用:含卤素的腐蚀性化学气相沉积 (CVD) 环境
选型所需数据
  • 基片直径和厚度
  • 真空腔室尺寸和端口尺寸
  • 所需的镀膜均匀性规格

可靠性与工程风险分析

失效模式与根因
密封件退化与泄漏
原因:工艺流体的化学侵蚀、热循环导致弹性体硬化/开裂,或安装不当导致密封件挤出
轴承故障与对准问题
原因:污染物侵入(颗粒、湿气)、润滑不足、安装过程中未对准,或负载不平衡导致的过度振动
维护信号
  • 密封件或接头周围可见的流体泄漏,表明密封失效
  • 运行期间异常的振动或可听见的研磨/隆隆声,表明轴承磨损或未对准
工程建议
  • 根据化学兼容性图表和热历史记录,实施定期的密封件检查和更换计划,并使用正确的安装技术
  • 在安装/维护期间建立精密对准程序,保持清洁的润滑系统,并安装振动监测装置以早期检测轴承磨损

合规与制造标准

参考标准
ASTM E112 - 测定平均晶粒尺寸的标准试验方法CE 标志 - 欧盟机械指令 2006/42/EC
制造精度
  • 平面度:≤0.05mm 每 100mm
  • 平行度:安装表面之间 ±0.02mm
质量检验
  • 坐标测量机 (CMM) 验证
  • 表面粗糙度测试 (Ra ≤ 0.8μm)

生产 基片夹具 的制造商

具备该产品生产能力的中国制造商与相关工厂资料。

制造商列表用于前期研究和供应商能力理解,不代表认证、排名或交易担保。

分享这一页

采购评估维度

不是客户评论,也不是实时热度。以下维度用于前期 RFQ 准备和供应商评估。

技术文档
4/5
制造能力
4/5
可检验性
5/5
供应商透明度
3/5

这些分值是采购评估维度示例,不代表真实客户评分、具体国家买家反馈或实时询盘。

供应链相关产品与组件

空气质量监测仪

一种电子设备,用于测量和报告各种空气污染物和环境参数的浓度。

查看规格 ->
铝电解电容器

铝电解电容器是一种使用氧化铝介质层的极性电容器,单位体积电容高,用于电源滤波和储能。

查看规格 ->
防静电装置

一种旨在防止、减少或消除表面、材料或组件上静电积聚的设备或系统。

查看规格 ->
资产追踪设备

一种电子设备,利用定位技术实时监控和记录实物资产的位置、状态和移动。

查看规格 ->

常见问题

基片夹具的用途是什么?

它在真空室中的薄膜沉积过程中牢固固定光学镜片基片,确保精确对准和稳定安装,以实现均匀镀膜。

有哪些可用材料?

目录中列出夹具可选用不锈钢、铝合金或陶瓷。不锈钢材料等级为SUS304,但请与制造商确认。

主要规格是什么?

它可容纳基片直径25.4–152.4毫米,厚度0.5–10毫米,夹持力5–50牛顿,定位精度±0.05毫米,重复性±0.02毫米,工作温度-20至200°C,压力1.0–1.6兆帕。请与制造商核实。

如何验证兼容性?

根据所列范围检查基片尺寸、所需夹持力和操作条件。始终与法定制造商或供应商确认型号具体值和标准。

我可以直接联系工厂吗?

CNFX 是开放目录,不是交易平台或采购代理。工厂资料和表单用于帮助你准备直接沟通。

CNFX Industrial Index v2.6.09 · 计算机、电子和光学产品制造

数据基础

CNFX 制造商资料、技术分类、公开产品信息和持续合理性检查。

初步技术归类
本页用于结构化准备研究、RFQ 和供应商评估,不替代买方自己的供应商资质审查、标准核验和技术批准。
采购询盘

请求制造能力信息关于 基片夹具

说明目标数量、应用场景、交期和关键技术要求,用于准备 RFQ 或供应商评估。

这条消息去哪
直达 CNFX 编辑台;若该产品已关联到通过认证的工厂,也会同时通知它。不会群发给一堆供应商。
你的信息不外流
我们不出售、不出租询盘数据,也不会把你加进营销邮件列表。只用于回复这一条询盘。
不抽佣、不做中间商
CNFX 是目录方。我们不从任何订单里抽成,也不会代供应商谈判。
我们不承诺什么
收录不等于背书。下单前请自行考察供应商、核实每一项数值。

你的商务信息仅用于处理本次请求。

谢谢,信息已发送。
提交失败,请稍后重试;如果反复失败,请直接发邮件到 [email protected]

需要制造 基片夹具?

对比具备该产品与工艺能力的制造商资料。

上一个产品
基板管理控制器(BMC)
下一个产品
增益控制元件
获取报价咨询