馈通件在导体、管或轴穿过腔壁处形成气密密封。这通过专门的密封技术实现,如玻璃-金属密封、陶瓷-金属密封或弹性体O型圈,具体取决于应用的真空度、温度和要求。密封必须维持真空内部与外部环境之间的压差,防止泄漏。对于电气馈通件,导体通过陶瓷或玻璃与金属主体绝缘,这也提供机械支撑。对于流体或机械馈通件,移动轴或管通过动态密封(如O型圈或波纹管)密封。密封方法的选择取决于温度、压力以及是否需要电气隔离等因素。馈通件必须设计为能够承受热循环和机械应力,而不损害真空完整性。
| 参数 | 典型区间 | 选型说明与越界后果 |
|---|---|---|
| 导体数量 | 1–50 引脚 | 取决于信号或功率要求。 |
| 每针额定电流 | 1–200 A | 电流越大,所需导体截面积越大。IEC 60512-2 |
| 额定电压 | 50–1000 V | 受绝缘和爬电距离限制。IEC 60512-2 |
| 泄漏率 | 1e-10–1e-6 mbar·L/s | 氦质谱检漏;UHV应用要求更低泄漏率。ISO 3530 |
| 温度范围 | -196–450 °C | 取决于密封材料:Viton最高200°C,陶瓷最高450°C。 |
| 压力范围 | 1e-10–10 bar | 内部真空至外部压力;高压穿通件压力范围更高。 |
| 本体材料 | 304/316L stainless steel | 316L用于耐腐蚀。ASTM A276 |
| 导体材料 | Copper, Kovar, or molybdenum | 铜用于高导电性;Kovar用于匹配封接。ASTM B152 |
| 绝缘材料 | Alumina (Al2O3) or glass | 陶瓷用于高温和UHV;玻璃用于降低成本。ASTM F19 |
| 密封类型 | Ceramic-to-metal, glass-to-metal, or O-ring | O型圈用于低真空;陶瓷用于UHV和高温。 |
| 安装法兰 | CF, KF, or ISO | CF用于UHV;KF用于高真空;ISO用于较大尺寸。ISO 2861, ISO 1609 |
| 法兰尺寸 | DN16–DN250 mm | 取决于引脚数量和电流。ISO 1609 |
| 使用寿命 | 10000–50000 次 | 适用于机械穿通件;电气穿通件无运动部件。 |
| 温度 | -196–450 °C | 超出此范围:密封失效、放气或导体氧化。 |
| 压力(内部) | 1e-10–10 bar | 超出此范围:泄漏或内爆/爆炸。 |
| 电压 | 50–1000 V | 超出此范围:介电击穿、电弧。 |
| 电流 | 1–200 A | 超出此范围:过热、导体熔化。 |
| 湿度(外部) | 0–95 % RH non-condensing | 超出此范围:腐蚀、电气泄漏。 |
区间为行业参考值,供询价时圈定范围用,不构成供应商承诺。下单前请向法人制造商核实每一项数值与标准。
诱因 → 失效模式 → 工程缓解
| pressure: | 高真空(10^-9 毫巴)至 10 巴过压 |
| flow rate: | 电气:高达 20 千伏,流体:流量 0-100 升/分钟,机械:扭矩高达 50 牛·米 |
| temperature: | -200°C 至 +450°C(取决于密封材料) |
不是客户评论,也不是实时热度。以下维度用于前期 RFQ 准备和供应商评估。
这些分值是采购评估维度示例,不代表真实客户评分、具体国家买家反馈或实时询盘。
馈通件用于将电力、信号、流体或机械运动通过真空室壁传输,同时保持真空完整性。它提供密封接口,防止泄漏。
常见密封类型包括玻璃-金属、陶瓷-金属和弹性体O型圈。选择取决于所需的真空度、温度和介质。陶瓷-金属密封用于UHV和高温,而O型圈适用于低真空。
主体通常由304或316L不锈钢制成。导体由铜、科瓦合金或钼制成。绝缘材料包括氧化铝陶瓷或玻璃。材料选择取决于导电性、耐腐蚀性和热要求。
考虑传输类型(电气、流体、机械)、所需的电流和电压额定值、温度范围、压力范围和真空度。还要考虑安装法兰类型和尺寸。务必与制造商核实规格。
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