该阀门通过创建真空与大气压或不同真空度之间的物理屏障（密封）来工作。常见机构包括闸阀、蝶阀或波纹管密封设计，通过手动、气动或电动执行器开启或关闭，以控制气体流动同时保持真空完整性。关闭时，密封元件压在阀座上以防止气体流动，保持压力隔离。开启时，屏障被提升或旋转以允许受控的气体流动。执行器（气动或电动）提供移动密封元件的力。阀门设计确保密封表面免受污染和磨损，波纹管密封类型防止大气泄漏到真空系统中。工作原理基于阀门两端的压差，密封力必须足以承受压差而不泄漏。通过氦泄漏测试验证阀门性能，以确保达到规定的泄漏率。
| 参数 | 典型区间 | 选型说明与越界后果 |
|---|---|---|
| 公称通径 | 15–300 mm | Standard sizes for vacuum serviceISO 6708 |
| 泄漏率 | ≤1.3e-10 Pa·m³/s | Helium leak testISO 27895 |
| 工作温度 | -40–85 °C | Seal material limits |
| 动作时间 | 0.5–2.0 s | Pneumatic actuation |
| 控制电压 | 24 ±10% V DC | Solenoid pilot |
| 功耗 | 8–15 W | Solenoid coil |
| 阀体材质 | 316L SS | 耐腐蚀ASTM A351 |
| 密封材料 | VITON | Vacuum compatibleASTM D2000 |
| 重量 | 2.5–45 kg | 取决于规格 |
| 防护等级 | IP54–IP65 | Dust and water resistantIEC 60529 |
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诱因 → 失效模式 → 工程缓解
| pressure: | 10^-6 mbar 至 1 bar 绝对压力 |
| flow rate: | 最高 1000 sccm（标准立方厘米每分钟） |
| temperature: | -40°C 至 +85°C |
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真空阀用于真空系统中调节、隔离或引导气体流动。常见于半导体制造、真空镀膜、冶金和研究设备中，这些场合需要维持特定的真空度。
阀体通常采用不锈钢316L（按ASTM A351）以提供耐腐蚀性，密封件采用VITON（按ASTM D2000）以确保真空兼容性。这些材料在目录条目中已指定。
泄漏率规定为≤1.3e-10帕·立方米/秒，按ISO 27895进行氦泄漏测试。这确保阀门保持真空完整性。
阀门可以手动、气动或电动执行。对于气动执行，执行时间为0.5至2.0秒，控制电压为24伏直流（±10%），带有电磁先导。
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