这是气体输送的功能结构参考。具体阀、调压器、检测、联锁、气源柜及处理设施的交付范围需另列，不能把这张表当成厂家型号装配清单。
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| 部件 | 作用 | 材料与配置 |
|---|---|---|
| 质量流量控制器（MFC） | 按所选气体和范围测控流量。GF100系列为热式测量，控制器有阀、流量计无阀，选型时分清型号和功能。[1] | Brooks资料列不同不锈钢、Hastelloy及相关接触材料，选项阀可有PCTFE。材料清单不等于任意气体兼容，应按实际气体及配置确认。[1] |
| 气体面板与阀组 | 组织气路、开关、调压和状态检测。Swagelok 6LVV-DPFR4-P-CM是具体气动隔膜阀实例，不是整块面板。[2] | 该阀列316L VIM-VAR阀体、PCTFE阀座及SC-01清洁过程；其他面板各接触件、密封与执行件分别确认。[2] |
| 气体管路与连接 | 连接气源、面板、测控器和腔室，记录分支、死体积及各段接口。连接和清洁交付需要保持一致。 | 按管材、焊接、表面处理、接头及垫片逐件列清。Swagelok实例采用金属垫片面密封VCR，不能仅凭管径推定不同接头能互换。[2] |
| 吹扫与置换系统 | 按气体和完整气路设计完成指定的清洁、置换及维护准备；阀位、流向、排出路径与联锁属于系统方案。 | 吹扫气源、调压、阀和连接材料需对应实际介质和工艺要求。不能按一个统一氮气压力写出所有系统的操作程序。 |
| 颗粒过滤器 | 在对应气体及流量条件下控制颗粒。Entegris NF-30列不同流量下不同截留表现，过滤和气体化学纯度需分别验收。[3] | NF-30为烧结镍膜及电抛光不锈钢壳体；它对CO、臭氧和低浓度氢化物掺杂气体有不推荐使用说明，不能把金属滤芯当成对全部气体通用。[3] |
Brooks、Swagelok和Entegris实例分别说明部件指标。所有数值需保留型号、气体、温度、压力及测试边界，不能作为整套系统统一额定。
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| 参数 | 资料与范围 | 选型含义 |
|---|---|---|
| 气体流量范围 | 逐气路确定最小、工作与最大流量及基准状态 | Brooks标准GF100/120/125资料列不同满量程3sccm至55slm；它是可选范围集合，不是单台MFC从最小到最大都具有同样精度。[1] |
| 流量控制精度 | 区分设定点S.P.与满量程F.S.误差 | GF表列>35–100%范围±1%S.P.、2–35%范围±0.35%F.S.，基于工厂N2校准；模拟通信另需咨询原厂。不能对全部流量声称±1%设定值。[1] |
| 压力调节范围 | 说明入口、目标出口与调压器实际范围 | MFC的允许压力和工作压差不是调压器输出范围。Brooks按不同流量和气体列所需压差，压力调节器需另取规格。[1] |
| 压力控制精度 | 明确测点、绝压/表压与动态条件 | 压力传感器误差、调压稳定性和系统扰动分别检查；没有对应调压/测量型号时不指定通用精度。 |
| 颗粒过滤性能 | 按粒径、截留率、流量及气体适用性确认 | NF-30页面列30slpm时>99.9999999%截留，75slpm时>99.9999%并标最易穿透粒径条件。不能把不同流量结果合成统一“过滤精度”。[3] |
| 泄漏完整性 | 外漏、阀内漏和系统漏率分别指定 | Brooks表列外部氦漏率1×10⁻¹⁰atm·cc/sec，与阀关断项按F.S.定义的内漏不同；华通页面用Pa·m³/s单位，也需保持测试气体与条件。[1][4] |
| 接触材料与密封 | 逐部位列材料、表面处理及介质兼容依据 | Swagelok实例为316L VIM-VAR阀体与PCTFE阀座；不能用“316L”省略所有密封件，也不能按品牌材料名称认定整套耐腐蚀。[2] |
| 内表面状态 | 区分粗糙度、清洁、颗粒和释气 | GF100表列10µin Ra，GF120/125列5µin Ra，约为0.254／0.127µm；这些只描述对应部件表面，不证明整套管路污染水平。[1] |
| 部件工作温度 | 取得每个接触气体部件的允许范围 | GF系列资料列10–50℃。NF-30按惰性或腐蚀/反应性气体给不同温压条件，不能把其中最高温度移给全部系统。[1][3] |
| 最大工作压力 | 明确psia/psig及具体型号 | Brooks表中GF100等列500psia，GF120XSL列100psia；proof、design及burst另列。试验压力不得充当连续工作额定。[1] |
| 连接尺寸与类型 | 尺寸、面密封/焊接/其他形式及密封件分别列明 | Swagelok所举阀为1/4in金属垫片面密封Female VCR。只写1/4in，不能证明与不同型式或不同配置直接互换。[2] |
| 连续运行与维护周期 | 定义工艺循环、阀动作及检查安排 | 阀开关寿命、MFC校准与滤芯状态不是同一种维护指标。华通开关次数为单阀厂家声明，不作为整套系统多年寿命。[4] |
| 公用设施与控制接口 | 逐项确认电源、仪表气、吹扫及排出处理接口 | 气动阀、MFC和吹扫系统有不同需求。按设备型号及完整气路图获取，不以统一24V或氮气压力省略接口核对。[1][2] |
| 环境温度 | 区分面板周围空气和气体/部件温度 | MFC工作温度边界不自动覆盖气源柜、执行器和加热气路。确认实际安装及散热条件。 |
| 入口压力与工作压差 | 按所选气体、流量和出口条件确认 | GF资料3–860sccm段列7–45psid，但脚注对氩气等另有要求；其他段及低蒸气压气体条件不同，不能只用一个入口压力范围。[1] |
| 气体纯度与污染指标 | 按工艺列水、氧、烃及其他需控制的杂质 | 气源纯度、下游颗粒和部件释气分开取得数据。过滤器的粒子截留百分数不是气体摩尔组分纯度。[3] |
| 每通道流量配置 | 逐MFC列满量程、气体、设定点和并发状态 | 多通道同时运行还需确认总供给与压降；单台满量程的可选范围不能作为面板总供气能力。[1] |
| 湿度与凝露条件 | 分别提出环境、电气及气路水分条件 | 房间相对湿度不能代替气体中的水分含量。清洁与释气测试的条件也须保留，不能以一个RH范围证明气路纯度。[3] |
按Brooks表中低段±0.35%F.S.定义，假设所选满量程100sccm、设定20sccm，误差项为±0.35sccm，相当于设定点的±1.75%。这是指定误差定义下的算例，不是对任意气体或模拟接口的性能保证；原表以工厂N2校准为基准。[1]
因此应以实际最低工作流量选量程并核对气体和接口版本。原表线性度已经包含在准确度内，不能再次相加，也不能用重复性代替准确度。气源变化、校准及配方换型需要对应验证。[1]
NF-30的截留声明与流量相关，原厂还列下游颗粒、挥发物、表面状态和不同气体的温压条件。选择时要先检查气体兼容，而不是仅比较截留数字；该页不推荐CO、臭氧和低浓度氢化物掺杂气体使用此型号。[3]
Swagelok实例把316L VIM-VAR、PCTFE、面密封连接及SC-01清洁过程分别列出，说明牌号、密封、接口和清洁交付要逐项指定。不能因为有电抛光不锈钢就默认任意反应气体兼容，也不能以气源“5.0级”省略下游污染指标。[2][3]
气体面板报价需按实际气体和路径给出材料兼容、清洁包装、焊接/连接记录及污染测试资料。过滤器的额定不是完整面板的保证，拆装后也要按系统验证要求重新确认。
Brooks把external leak和valve shutdown分开列，普通控制阀、Zero Leak-by选项及无阀流量计的功能不同；即使名字中有“Zero”，仍按资料中的条件与数值验收，不推定绝对零泄漏。[1]
华通GZK页面对应高真空电磁阀，说明惰性气体与真空用途，并把允许试验压力与工作压力分列。它提供阀件依据，不证明已交付完整危险工艺气体面板；密封、材料及适用介质须按具体型号另核对。[4]
维护和异常处理依完整系统程序由合格人员执行。发现压力或流量异常、检测报警及部件故障时，按既定联锁和隔离流程处理；不在本页给统一阀序、吹扫压力或自动换气阈值。采购要明确气源柜、检测、排放处理与操作培训是否属于供货范围。
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| 指标或项目 | 它对应什么 | 交付时要说明 |
|---|---|---|
| 外部氦漏率 | 部件或指定边界对外的泄漏完整性 | 测试气体、压力、方法、单位及测试范围 |
| 阀关断/内漏 | 关闭状态流过阀座的量 | 压差、气体、阀选项及判据 |
| 吹扫与置换 | 指定气路及残留控制任务 | 系统设计、排出路径、联锁、验证和维护流程 |
| 压力额定 | 部件在指定条件下的承压边界 | 工作与试验额定、绝压/表压及温度 |
以下入口来自产品关系，用于继续查阅；具体机型的装配和兼容性仍需对应型号资料。
核对日期：2026-10-13。标准公开摘要支持其范围；具体尺寸、公差和验收要求须按约定标准全文及图纸执行。
比较厂家官网列出的产品系列，在本页查看资料、准备采购需求。
Wuxi
无锡华通官网列GZK512/GZK712高真空电磁阀，描述真空和惰性气体用途及不同通径、连接选项；公司介绍及联系页说明气动元件制造业务。它提供的是阀件范围，不能据应用栏目认定其供应整套MFC、过滤、吹扫和联锁气体系统。采购按具体介质、型号和测试资料核对，不把网页通用认证或互换宣传当整套资格。
采购需求由 CNFX 接收处理。厂家认领标识与产品资料来源分别展示；具体型号、供货及交期以双方确认为准。
看具体分段定义。GF表低段按±0.35%满量程，而较高段按±1%设定点，且有工厂N2校准和接口条件；不能把两者合并成一句保证。[1]
外漏与阀关断内漏不同，应分别指定测试边界、条件和判据。MFC阀选项也有不同关断规格。[1]
那是特定条件的颗粒截留指标，气体组分、水分、氧与其他污染另验；NF-30还在不同流量下列不同截留表现。[3]
需匹配具体连接形式、尺寸和密封件；所举Swagelok阀为金属垫片面密封VCR，尺寸名称不足以确认接口兼容。[2]
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