质量流量控制器基于热式原理工作。一小部分气体流经传感器管，传感器测量由气体流动引起的热传递（温差），该热传递与质量流量成正比。测量值与设定值进行比较，内部控制阀通过电子方式调节以维持所需流量。设备需要稳定的电源和正确的安装以确保准确运行。
| 参数 | 典型区间 | 选型说明与越界后果 |
|---|---|---|
| 流量范围 | 0–100 SLM | Standard range; other ranges available on request |
| 精度 | ±1.0 % FS | Full scale accuracy at calibration conditions |
| 重复性 | ±0.2 % FS | Under constant conditions |
| 响应时间 | 1–2 s | To within 2% of setpoint |
| 工作温度 | -10–50 °C | For electronics; sensor may have wider range |
| 供电电压 | 24 ±10% V DC | 具备反极性保护 |
| 功耗 | ≤4 W | At nominal supply voltage |
| 模拟输出信号 | 0–5 V DC | Linear with flow rate |
| 模拟输入信号 | 0–5 V DC | Setpoint control signal |
| 泄漏率 | ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s | Helium leak test |
| 防护等级 | IP40 | Indoor use onlyIEC 60529 |
| 接液材质 | 316L | Stainless steel; optional HastelloyASTM A276 |
| 重量 | 1.5–2.0 kg | Depending on fittings |
区间为行业参考值，供询价时圈定范围用，不构成供应商承诺。下单前请向法人制造商核实每一项数值与标准。
诱因 → 失效模式 → 工程缓解
| pressure: | 最高100 bar（典型），150 bar（高压型号） |
| flow rate: | 0-10 sccm 至 0-500 slm（标准范围），可提供定制范围 |
| temperature: | -20°C 至 70°C（工作），-40°C 至 85°C（储存） |
2 家企业把这个产品列在自己的产品线里。卡片上的公司数据摘自各家官网，每张卡都注明这条关系的依据来自哪里。
制造商列表用于前期研究和供应商能力理解，不代表认证、排名或交易担保。
不是客户评论，也不是实时热度。以下维度用于前期 RFQ 准备和供应商评估。
这些分值是采购评估维度示例，不代表真实客户评分、具体国家买家反馈或实时询盘。
它采用热式原理：一部分气体流经传感器管，测量热传递以确定质量流量。控制器调节内部阀门以匹配设定值。
标准流量范围为0–100 SLM，精度为±1.0% FS，重复性为±0.2% FS。这些是参考值，请确认您的具体型号。
主体和接液部件为不锈钢（316L），传感器芯片为硅。接液部件可选哈氏合金。请根据您的气体和应用验证材料兼容性。
供电电压为24 V DC ±10%，功耗≤4 W，模拟信号为0–5 V DC。工作温度为-10至50°C，防护等级为IP40。仅限室内使用。
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说明目标数量、应用场景、交期和关键技术要求，用于准备 RFQ 或供应商评估。