传输机器人使用多轴机械臂和末端执行器（通常是真空吸盘或边缘夹持器）来拾取、放置和传输晶圆。它由可编程逻辑控制器控制，并与工厂自动化系统集成，以与工艺工具同步操作。机器人遵循预定义的路径和顺序，以最小化颗粒产生并最大化吞吐量。控制系统协调手臂运动、夹持器驱动以及与其他设备的通信，确保精确定位和定时。机器人的设计包括减少颗粒脱落的特性，如密封接头和合适的材料。工作原理依赖于传感器和编码器的反馈，以实现高重复性。机器人针对特定的晶圆处理任务进行编程，其操作针对洁净室条件进行了优化。
| 参数 | 典型区间 | 选型说明与越界后果 |
|---|---|---|
| 负载能力 | 5–15 kg | Maximum wafer cassette weight |
| 晶圆尺寸 | 150–300 mm | Compatible with 6, 8, 12 inch wafersSEMI M1 |
| 重复定位精度 | ±0.02 mm | Critical for process alignment |
| 最大速度 | 1.5–3.0 m/s | Higher speed reduces throughput time |
| 工作温度 | 15–35 °C | Cleanroom environment typical |
| 相对湿度 | 45–65 % | Non-condensing |
| 防护等级 | IP54–IP65 | Dust and water resistanceIEC 60529 |
| 供电电压 | 24 ±10% V DC | Stable power required |
| 功耗 | 500–1000 W | Peak during acceleration |
| 占地面积 | 1.2–2.5 m² | Depends on configuration |
| 重量 | 200–500 kg | Including base and arm |
| 洁净度等级 | ISO 3–5 | Particle emission controlISO 14644-1 |
区间为行业参考值，供询价时圈定范围用，不构成供应商承诺。下单前请向法人制造商核实每一项数值与标准。
诱因 → 失效模式 → 工程缓解
| pressure: | 规格（简体中文） |
| flow rate: | 规格（简体中文） |
| temperature: | 规格（简体中文） |
不是客户评论，也不是实时热度。以下维度用于前期 RFQ 准备和供应商评估。
这些分值是采购评估维度示例，不代表真实客户评分、具体国家买家反馈或实时询盘。
有效载荷能力通常在5–15 kg范围内，但这取决于具体型号和配置。请务必与制造商核实您的应用所需的精确容量。
该机器人兼容150–300 mm（6、8和12英寸）的晶圆，符合SEMI M1标准。但是，请确认具体型号的实际晶圆尺寸兼容性。
该机器人设计用于符合ISO 14644-1的ISO 3–5洁净度等级的洁净室环境。请验证您打算使用的型号的实际洁净室等级。
维护信号包括定位误差增加、异常振动、异常噪音或颗粒数升高。建议定期校准和检查，以确保最佳性能。
CNFX 是开放目录，不是交易平台或采购代理。工厂资料和表单用于帮助你准备直接沟通。
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