腔体通过真空泵抽除空气和污染物，形成受控的低压环境。运行期间，维持规定的真空度，同时允许受控引入工艺气体或材料。温度、压力和气体成分被精确调节，以实现特定制造工艺。腔体设计确保最小泄漏和热均匀性，对于敏感组件的一致处理至关重要。
| 参数 | 典型区间 | 选型说明与越界后果 |
|---|---|---|
| 腔室容积 | 50–200 L | Determines batch size for processing components. |
| 极限压力 | 1e-3–1e-2 Pa | Lower pressure enables cleaner vacuum environment. |
| 漏率 | ≤1e-9 Pa·m³/s | Critical for maintaining vacuum integrity.ISO 21360 |
| 工作温度 | 15–40 °C | Affects material stability and process consistency. |
| 升温速率 | 5–10 °C/min | Controls thermal uniformity during processing. |
| 温度均匀性 | ±5 °C | Ensures consistent processing across chamber. |
| 电源 | 380–480 V AC | Three-phase power for heaters and pumps.IEC 60038 |
| 功耗 | 5–15 kW | Affects operating cost and facility capacity. |
| 防护等级 | IP54–IP65 | Protects against dust and water ingress.IEC 60529 |
| 腔室材料 | 316L | Corrosion-resistant stainless steel for cleanroom use.ASTM A240 |
| 重量 | 500–1500 kg | Consider floor loading and handling requirements. |
| 占地面积 | 1.5–3.0 m² | Space needed for installation and maintenance. |
区间为行业参考值，供询价时圈定范围用，不构成供应商承诺。下单前请向法人制造商核实每一项数值与标准。
诱因 → 失效模式 → 工程缓解
| pressure: | 10^-6 托至 760 托（真空至大气压） |
| flow rate: | 0-100 sccm（标准立方厘米每分钟），用于工艺气体引入 |
| temperature: | +15°C 至 +40°C |
不是客户评论，也不是实时热度。以下维度用于前期 RFQ 准备和供应商评估。
这些分值是采购评估维度示例，不代表真实客户评分、具体国家买家反馈或实时询盘。
它为薄膜沉积、脱气或医疗成像组件组装等工艺提供受控低压环境，确保无污染条件。
容积（50-200升）、极限压力（1e-3至1e-2帕）、泄漏率（≤1e-9帕·立方米/秒，符合ISO 21360）、工作温度（15-40摄氏度）和电源（380-480伏交流电）。务必与制造商确认。
通过使用316L不锈钢、高真空兼容陶瓷和硼硅酸盐玻璃观察窗，以及符合ISO 21360的低泄漏率。建议定期进行泄漏测试。
腔体重量为500-1500千克，占地面积为1.5-3.0平方米。需要三相电源和足够的楼板承载能力。请与供应商核实。
CNFX 是开放目录，不是交易平台或采购代理。工厂资料和表单用于帮助你准备直接沟通。
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说明目标数量、应用场景、交期和关键技术要求，用于准备 RFQ 或供应商评估。
