保持真空边界，同时获得观察通道
窗片、法兰、密封与防护附件
组件清单要分清窗片封接部位和腔口法兰接合部位；挡板、外侧防护盖及执行机构按实际配置列出。
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| 部件 | 作用 | 材料与配置 |
|---|---|---|
| 光学窗片 | 提供观察光路，按波段和热条件选择透明材料；Pfeiffer列7056硼硅玻璃与熔融石英选项。[1] | 7056硼硅玻璃或按波段选定的熔融石英；减反膜按工作波段订制。[1] |
| 窗口框与安装法兰 | 承托窗片并连接腔体端口，通光孔径、法兰外形和配合空间分别核对。 | Pfeiffer的7056系列列304不锈钢法兰；具体封接结构由组件图纸说明。[1] |
| 真空接合密封 | 密封窗口组件与配对腔口。Accu-Glass安装说明要求UHV视窗采用完全退火的铜垫片。[3] | CF接合处采用适配铜垫片；NW、ISO等弹性体接口按对应结构选择密封圈。[1][3] |
| 保护盖或腔内挡板 | 外盖用于停机或搬运时的窗口防护，腔内挡板则用于镀膜时遮蔽沉积；需区分安装侧和动作空间。[4] | Pfeiffer所列挡板组件采用304不锈钢法兰，挡片与驱动部件按所选装配图交付。[4] |
用通光尺寸和完整组件额定比较
法兰口径、玻璃尺寸和可视孔径描述不同位置。确定机械配合后，再把光学性能、检漏条件及热循环要求写到同一组件的技术文件中。
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| 参数 | 资料与范围 | 选型含义 |
|---|---|---|
| 有效观察口径 | Accu-Glass 112403的观察直径为2.69英寸，配4.50英寸CF法兰。[2] | 两项分别描述通光区域与安装法兰；腔口内径、视线角度和遮挡情况另按装配图检查。 |
| 窗片厚度 | 采用对应窗材、支承方式与承压方向的制造图尺寸。 | 厚度与通光孔径共同参与结构设计，光路涉及焦移或成像时还需说明光程和装配后的光学要求。 |
| 压差及作用方向 | Accu-Glass安装说明给其视窗最大压差15 PSIG，并明确额定有方向性。[3] | 按推荐方向安装；不得反向使用该压差额定，系统意外内压还需独立的防护设计。 |
| 漏率与检漏 | 以交付组件的氦检漏指标、检测方向及报告为准。 | 真空使用范围与泄漏流率是不同量；报告应标明单位、测试气体、压差和判定条件。 |
| 工作与烘烤温度 | Accu-Glass 112403的工作与烘烤上限均列250°C；Pfeiffer的7056玻璃CF系列列重复烘烤至400°C。[1][2] | 这是不同供应系列的额定。Pfeiffer本页挡板组件的最大烘烤温度为150°C，整套配置按最低额定部件及相应热循环条件控制。[4] |
| 透射波段及镀膜 | Accu-Glass 112403可选780 nm、1064 nm窄带或780–1064 nm宽带减反膜。[2] | 定量测量要取得窗材、厚度及镀膜对应的光谱透过率曲线，并标明入射角和测量条件。 |
| 面形与透射波前 | 按观察或测量用途约定面形、有效孔径、参考波长及装配状态。 | 成像与干涉测量还需评价封接和压差引入的光学变化，验收文件写清评价的是表面还是透射波前。 |
| 表面质量 | 按窗片图纸明确划痕、麻点、边缘缺损及检验方法。 | Accu-Glass警示玻璃易受划伤和点载荷损伤；存在划痕、凹坑、崩边等缺陷的视窗不得安装或承压。[3] |
| 材料与封接结构 | Accu-Glass 112403列Corning 7056玻璃及不锈钢；Pfeiffer的7056系列列304不锈钢法兰。[1][2] | 窗片、封接框、安装法兰和垫片按部位识别材料；化学介质接触及沉积清理方法需与这些材料兼容。 |
| 交付组件质量 | Accu-Glass 112403产品页列质量2 lb。[2] | 比较时注明是否包含挡板、馈通及其他安装附件，并检查腔口的支承和空间条件。 |
把挡板当作镀膜工况的一部分
窗口朝向蒸发源或溅射区时，透光变化可能来自表面沉积。Pfeiffer的挡板安装在CF腔口与窗口之间，关闭时遮住窗口，打开后提供观察通道；评估时要确认挡片、法兰及腔内元件的运动空间。[4]
挡板操作机构、真空馈通和窗口本体各有温度限值。将高温视窗与较低温度额定的挡板组成总成时，烘烤方案按整个装配核定，并把观察时机、挡板位置和清理条件写入设备规程。[1][4]
控制封接应力，保全玻璃表面
Accu-Glass要求视窗均匀、对称地加热和冷却，并规定最大10°C/min的温变限制。该说明对7056玻璃视窗列250°C、石英视窗列200°C烘烤上限；采用其他厂商系列时使用其对应额定和过程要求。[3]
安装CF视窗时，按厂家要求交叉、逐步、均匀紧固螺栓。窗片表面和封接框应避免硬物接触，封接框与刚性法兰之间的柔性间隙保持洁净；玻璃有损伤时停止安装或承压并安排合格替换件。[3]
交付资料覆盖光学、真空与装配三个界面
询价时集中提供腔口标准和配对尺寸、有效视场、观测波段、窗材与镀膜、工作和烘烤温度曲线、内外压差及方向、工艺介质和沉积情况、挡板配置及操作空间。技术确认附装配图、光学检验项目、检漏报告要求和安装说明。
投入使用前按相应设备规程检查密封、窗口外观和热循环后的状态。漏率变化、窗口附着物或视野变差应分别排查，清理与更换方法遵循窗片、镀膜和密封结构的对应文件。
关联的应用系统与部件
以下入口来自产品关系，用于继续查阅；具体机型的装配和兼容性仍需对应型号资料。
应用系统
关联部件
资料来源与适用范围
核对日期：2026-10-23 · 更新于 。厂家网页与安装说明按2026-10-23取得的版本核对；不同系列温度额定分别列出，供货组件及其附件的图纸和安装文件决定实际配置。
- Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions：Kodial（7056玻璃）真空视窗NW/ISO/CF接口、7056玻璃和石英、304不锈钢及该系列烘烤条件；额定限定到其产品系列。
- Accu-Glass：112403 / VPG-2.7-450 7056玻璃视窗2.69英寸观察孔、4.50英寸CF法兰、250°C、质量2 lb及可选减反膜波段。
- Accu-Glass：Vacuum Viewports Installation and Safety Precautions第1页压差方向、玻璃损伤、均匀加热冷却、该厂温变和烘烤限值、CF铜垫及紧固要求。
- Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions：Viewport Shutters镀膜挡板安装侧、90°开合、位置锁定、CF法兰及150°C最大烘烤温度。