真空腔体提供气密密封,将内部容积与外部大气隔离。它连接到真空泵,真空泵抽除空气和其他气体,形成低压环境。这使得物理气相沉积(PVD)或化学气相沉积(CVD)等工艺能够在没有大气颗粒或反应性气体干扰的情况下对光学镜片进行镀膜。腔体的结构完整性和表面光洁度对于实现和维持所需的真空水平至关重要,防止泄漏和放气,以免影响镀膜过程。
| 参数 | 典型区间 | 选型说明与越界后果 |
|---|---|---|
| 内径 | 300–1200 mm | Determines the maximum workpiece size. |
| 内部高度 | 300–1500 mm | Determines the maximum workpiece height. |
| 壁厚 | 8–30 mm | Affects structural strength and weight. |
| 极限压力 | 1e-3–1e-5 Pa | Lower pressure requires better seals and surface finish. |
| 漏率 | 1e-9–1e-10 Pa·m³/s | Critical for maintaining vacuum integrity. |
| 材料牌号 | 304/316L | 316L offers better corrosion resistance.ASTM A240 |
| 表面粗糙度 | Ra 0.4–0.8 μm | Smoother surfaces reduce outgassing and particle contamination. |
| 工作温度 | -20–150 °C | Exceeding limits may degrade seals and material properties. |
| 设计压力 | 0.1–0.5 MPa | External pressure rating for vacuum service.GB 150 |
| 重量 | 50–500 kg | Affects handling and installation requirements. |
区间为行业参考值,供询价时圈定范围用,不构成供应商承诺。下单前请向法人制造商核实每一项数值与标准。
诱因 → 失效模式 → 工程缓解
| pressure: | 大气压至10^-9 Torr(具备超高真空能力) |
| other spec: | 泄漏率 < 1x10^-9 mbar·L/s,密封表面粗糙度 < 0.8 μm Ra |
| temperature: | -40°C 至 200°C(不锈钢典型值,随材料变化) |
不是客户评论,也不是实时热度。以下维度用于前期 RFQ 准备和供应商评估。
这些分值是采购评估维度示例,不代表真实客户评分、具体国家买家反馈或实时询盘。
真空腔体通常采用304或316L不锈钢材质,如目录所列。316L具有更好的耐腐蚀性。具体应用的材料等级应与制造商确认。
极限压力范围在1e-3至1e-5帕之间,取决于设计和密封。这是一个参考范围;实际可达到的压力必须与制造商确认具体型号。
腔体提供气密外壳,连接到真空泵。泵抽除空气和气体,形成低压环境。腔体的完整性,包括密封和表面光洁度,对于防止泄漏和维持真空至关重要。
关键参数包括内径、内高、壁厚、极限压力、泄漏率、材料等级、表面粗糙度、工作温度、设计压力和重量。务必与法定制造商或供应商确认这些值,以确保适合您的应用。
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说明目标数量、应用场景、交期和关键技术要求,用于准备 RFQ 或供应商评估。