MEMS传感元件

MEMS（微机电系统）传感元件是一种微尺度器件，将机械元件、传感器、执行器和电子器件集成在硅基片上。在坡度传感器中，它检测倾角、加速度或振动的微小变化，以高精度确定表面角度或坡度。

基于电容式、压阻式或压电式换能机制工作，其中由倾斜变化引起的微观结构（梁、膜片或检测质量块）的物理位移改变电信号（电容、电阻或电压），这些信号经处理以计算坡度角。

基于电容式、压阻式或压电式换能机制，通过倾斜变化引起的微观结构（梁、膜片或检测质量块）的物理位移改变电信号（电容、电阻或电压），经处理后计算坡度角。