繁體：真空法蘭
真空法兰是精密加工的机械接口，用于连接真空腔室、泵、阀门、规管等部件，同时保持超高真空或高真空的完整性。
真空法兰是精密加工的机械接口，设计用于连接真空腔室、泵、阀门、规管及其他部件，同时保持超高真空（UHV）或高真空（HV）的完整性。它们具有精密加工的密封表面、螺栓孔和垫圈槽，以防止大气泄漏和污染。在冷阱/冷凝器应用中，它们为阱体、进出口和真空泵系统之间提供可靠的连接。 真空法兰通过螺栓或夹具将可变形垫圈（如弹性体O型圈、金属密封或铜垫圈）压缩在两个精确对齐的法兰面之间，形成密封。压缩力使垫圈变形，填充微观表面缺陷，从而阻止气体分子通过。不同类型的法兰（KF/QF、ISO、CF）使用特定的密封机制：弹性体O型圈用于快速连接，金属垫圈与刀刃密封用于超高真空应用，或铜垫圈与Conflat设计用于高温环境。
诱因 → 失效模式 → 工程缓解
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KF（快卸法兰）使用卡箍和O型圈密封，适用于小到中等尺寸（最大DN 50）的快速装配；而ISO法兰使用螺栓连接，配更大的O型圈或金属垫片，适用于较大系统（DN 63至DN 500）。
确保密封表面清洁无损伤；根据真空度和温度选择合适的垫片材料；对于螺栓法兰，按星形顺序施加正确扭矩；并使用氦质谱检漏仪进行泄漏测试。
金属垫片（铜）通常为一次性使用，而弹性体O型圈在未损坏的情况下可重复使用。维护时务必检查密封表面并更换垫片以防止泄漏。
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